陈桂
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信电气工程更多>>
- 一种用于气体传感器的乐甫波器件研制
- 改善乐甫波器件的温度特性,本文实验研究了覆盖不同膜厚的SU-8声波导层对乐甫波器件的温度系数的影响.采用电极宽度控制单向单相(EWC/SPUDT)结构,设计制作了以ST-90°X石英为基片,结合三种不同厚度的S...
- 陈桂谢晓王文何世堂
- 关键词：气体传感器温度特性
- 乐甫波器件温度特性实验研究
- 2015年
- 研究了基于ST-90°X石英基片和SU-8波导层的乐甫波器件的温度特性。采用电极宽度控制单向单相（EWC/SPUDT）结构和铝电极,设计制作了具有单一模式控制功能和低插入损耗的150 MHz剪切型声表面波（SH-SAW）延迟线器件,并在其表面涂覆不同膜厚的SU-8声波导层构成系列乐甫波器件。由于SU-8波导层与石英基片温度系数的相反极性特性,SU-8膜厚直接影响到了乐甫波器件的温度特性。实验发现,覆盖不同膜厚的SU-8的乐甫波器件的中心频率随温度呈非线性变化,且在60~80℃内,SU-8膜厚为0.95μm时,其频率温度系数约为0.830×10^-6/℃。
- 陈桂谢晓王文何世堂
- 关键词：SU-8
- 36°YX-LiTaO_3/SiO_2结构Love波气体传感器研究被引量：1
- 2015年
- 该文研究了一种覆盖六氟-2-羟基异丙基聚硅氧烷(SXFA)敏感膜,并针对有机磷化学物检测的新型Love波传感器,采用36°YX-LiTaO3与SiO2分别作为Love波延迟线器件的压电基底与波导层材料。将所研制的Love波器件作为差分振荡器的频率控制单元,结合SXFA敏感膜,开展了针对甲基磷酸二甲(DMMP)的气体传感实验,分析了不同波导层膜厚对Love波传感器气体响应的影响,并与传统瑞利型声表面波模式的气体传感器性能进行了对比,实验结果显示,Love波模式传感器表现出高灵敏度特性。
- 陈桂王文谢晓何世堂
- 关键词：LOVE波SIO2
