王文
- 作品数:195 被引量:103H指数:5
- 供职机构:中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院重点部署项目更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信理学一般工业技术更多>>
- 覆盖SU-8波导层的Love波器件温度特性研究
- <正>1引言Love波是一种质点振动既垂直于传播方向又垂直于表面法线方向的横表面波,Love波器件的基本结构是在支持剪切型声表面波传播的压电基片表面覆盖一层具有低剪切声速的波导薄层,将声波能量集中于波导薄层,从而提高对表...
- 侯娇丽王文刘明华何世堂
- 文献传递
- 基于SOI衬底的宽带低损耗声表面波滤波器研究被引量:1
- 2022年
- 使用结构为42°Y-X LiTaO_(3)(600 nm)/SiO_(2)(500 nm)/Si的SOI衬底,通过抑制横向模式等优化设计,研制了单端谐振器和声表面波滤波器。经测试,谐振器的谐振频率为1.5 GHz,品质因数(Q)值高达4000;滤波器的中心频率为1370 MHz,插入损耗为-1.2 dB,1 dB带宽为74 MHz,相对带宽达到5.4%,阻带抑制大于40 dB,且温度系数在-55~+85℃时优于-9×10^(-6)/℃。该产品具有高频、宽带、低损耗、低温漂、高阻带抑制的特点,其性能指标优异,具有很好的实用性。
- 苗湘闫坤坤黄歆姜靖雯黄小东王文
- 关键词:SOI衬底谐振器声表面波滤波器
- 声表面波气体传感器发展概况被引量:6
- 2009年
- 声表面波气体传感器包括采用敏感膜和结合气相色谱两种方式。比较而言,采用敏感膜的声表面波气体传感器体积小、功耗低,但可检测的气体种类少、灵敏度低、存在交叉干扰问题;声表面波与气相色谱联用的气体分析仪灵敏度高、可检测气体种类多、很好地解决交叉干扰问题,特别适合于复杂大气背景条件下的气体成分分析。文中介绍了两类声表面波气体传感器的发展概况。
- 何世堂李顺洲王文刘久玲
- 关键词:声表面波传感器敏感膜气相色谱
- 一种无线无源声表面波应变传感器
- 本发明涉及一种无线无源声表面波应变传感器,包括:声表面波反射型延迟线器件、第一匹配网络、第二匹配网络、参考应变片和感知应变片;其中,声表面波反射型延迟线器件作为无线传感系统的应答器,采用双通道反射器型结构,其中参考通道通...
- 王文王毅坚薛蓄峰梁勇
- 文献传递
- 声表面波电流传感器
- 本发明涉及一种SAW电流传感器,所述传感器包括:压电基片,作为振动膜;第一路反射器,包括用以参考的第一叉指型反射器和用以测量电流的第二叉指型反射器;第二路反射器,用作电子标签;薄层膜,涂覆在第一路反射器、第二路反射器上;...
- 王文刘鑫璐薛蓄峰单长锁
- 文献传递
- 一种基于反射延迟线的无线无源声表面波电流传感器
- 本发明公开了一种基于反射延迟线的无线无源声表面波电流传感器,所述声表面波电流传感器包括压电晶体基片(21)、叉指换能器(22)和声表面波反射型延迟线(23);所述声表面波反射型延迟线(23)包括沿声表面波的传播方向上设置...
- 王文孙媛贾雅娜范淑瑶梁勇刘梦伟
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- 一种新型SH波传播特性研究
- 本文利用层状介质中波的传播方法对于一种新型的SH波进行了分析,给出了求解的过程以及计算结果,并与前人的计算结果进行了对比,结果表明了较好的一致性.
- 王文何世堂
- 关键词:剪切波SH波
- 文献传递
- 基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器研究被引量:1
- 2017年
- 该文设计制作了一种基于磁致伸缩效应的声表面波(SAW)电流传感器,采用了磁致伸缩铁钴合金(FeCo)薄膜,并对其性能进行实验研究。传感器采用双通道300 MHz声表面波延迟线型振荡器结构,以128°YXLiNbO_3为压电基片,在其表面覆盖与其温度系数极性相反的SiO_2薄膜来改善器件温度稳定性,并在声传播路径上溅射FeCo薄膜用以感知电流量。在电流产生磁场作用下,FeCo薄膜发生磁致伸缩应变,导致声传播速度的变化,进而以振荡器频率信号的改变来表征待测电流。该文通过对不同FeCo膜厚及不同FeCo薄膜长宽比的传感器进行实验分析,以获得优化的传感功能结构。实验结果表明,在优化的FeCo薄膜厚度(500nm)和长宽比(2∶1)条件下,所研制的声表面波电流传感器的灵敏度为12.375kHz/A。
- 仝杰贾雅娜张薇王兴隆王诗月王文
- 关键词:磁致伸缩效应射频磁控溅射
- 用于硫化氢快速检测的声表面波传感器设计被引量:2
- 2019年
- 将三乙醇胺针对硫化氢(H2S)的特异选择性吸附与声表面波传感技术的快速与高灵敏响应特点相结合,提出了一种基于声表面波的硫化氢快速检测技术.利用滴涂方法实验制备了在声表面波传播路径表面沉积三乙醇胺的延迟线型传感器件,并结合差分鉴相电路,研制出新型SAW硫化氢气体传感系统样机.实验结果表明:所研制的声表面波硫化氢传感器具有快速响应(≤29.9 s)、高灵敏度(2.81 mV·mg^-1·m^3)和较低的检测下限(0.21 mg/m^3)的特点,在硫化物快速监测应用领域具有良好的应用前景.
- 刘雪莉张玉凤梁勇李俊红王文
- 关键词:声表面波三乙醇胺延迟线鉴相器
- 一种差分式谐振器型的无线无源声表面波应变传感器
- 本发明涉及差分式谐振器型的无线无源声表面波应变传感器,包括:天线、匹配电路、封装管座、柔性封装底片和SAW传感器件。其中,天线设置在匹配电路上,匹配电路通过信号引线与SAW传感器件连接。SAW传感器件由所述封装管座和柔性...
- 王文王毅坚薛蓄峰梁勇
- 文献传递