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韩东岳
作品数:
3
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
李辉杰
中国科学院半导体研究所
杨少延
中国科学院半导体研究所
谭晓宇
中国科学院半导体研究所
赵桂娟
中国科学院半导体研究所
汪连山
中国科学院半导体研究所
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氮化
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氮化铝
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气相外延
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氢化物气相外...
1篇
脉冲法
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厚膜
机构
3篇
中国科学院
作者
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杨少延
3篇
李辉杰
3篇
韩东岳
2篇
王占国
2篇
汪连山
2篇
赵桂娟
2篇
谭晓宇
年份
1篇
2019
1篇
2016
1篇
2015
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一种HEMT外延结构及制备方法
本发明公开了一种HEMT外延结构,其结构是:衬底(10)、低温GaN缓冲层(20)、未掺杂GaN高阻层(30)、AlN隔离层(40)、未掺杂GaN沟道层(50)、Al组分阶梯变化的势垒层(60)、AlN势垒层(70)。将...
吉泽生
汪连山
赵桂娟
孟钰淋
李辉杰
谭晓宇
韩东岳
杨少延
王占国
脉冲法生长氮化铝单晶厚膜的研究
铝(AlN)的禁带宽度大、热导率高、与铝镓氮(AlGaN)的晶格适配小,是AlGaN基紫外LED以及高频大功率电力电子器件的理想衬底材料.氢化物气相外延(HVPE)在制备GaN单晶膜厚方面已经比较成熟,但制备高质量无裂纹...
韩东岳
孔苏苏
李辉杰
杨少延
关键词:
氮化铝
氢化物气相外延
脉冲法
一种HEMT外延结构及制备方法
本发明公开了一种HEMT外延结构,其结构是:衬底(10)、低温GaN缓冲层(20)、未掺杂GaN高阻层(30)、AlN隔离层(40)、未掺杂GaN沟道层(50)、Al组分阶梯变化的势垒层(60)、AlN势垒层(70)。将...
吉泽生
汪连山
赵桂娟
孟钰淋
李辉杰
谭晓宇
韩东岳
杨少延
王占国
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