张哲
- 作品数:3 被引量:6H指数:1
- 供职机构:成都精密光学工程研究中心更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:理学电子电信机械工程更多>>
- 石英基片精密干冰清洗效果的红外光谱差示法被引量:1
- 2014年
- 使用红外透过差示光谱法,对低羟基石英基片上的有机物吸收峰进行了定量测量表征。从理论上研究了该方法的可行性和特点,并初步检验了该方法的灵敏度。利用这种手段采集了大量真空精密干冰清洗石英基片的数据,统计发现这些数据能够体现一定的规律性:干冰清洗有机物的效果与原始污染状况紧密联系,某一时刻污染物越多,清洗效率越高;无机物或大颗粒的混入会降低有机物清洗效率;表面形态也能够影响清洗效率。这些成果证明了该定量表征方法的正确性和实用性。实验过程和所得结论表明,将清洗初始状态控制在相对一致的状态下,是精密干冰清洗定量研究和工程化参数优化的一个重要因素。
- 张哲潘峰唐明陈松林
- 关键词:红外光谱傅里叶变换光谱仪光学镀膜
- HfO_2/SiO_2薄膜的激光预处理作用研究被引量:5
- 2013年
- 激光预处理是提高激光薄膜抗激光损伤阈值的重要手段。对电子束蒸发方式镀制的HfO2/SiO2反射膜采用大口径激光进行了辐照,并采用激光量热计测量了激光辐射前后的弱吸收值。采用聚焦离子束(FIB)技术分析了激光辐照后薄膜的损伤形态并探究了损伤原因,首次采用扫描电镜拍摄到了节瘤部分喷发时的形貌图,并对其进行了FIB分析,为进一步了解节瘤的损伤过程提供了依据。实验发现,激光辐照过后的激光薄膜弱吸收明显降低,激光预处理有效减少了引起薄膜吸收的缺陷,存在明显的清洗效应;在本实验采用的HfO2/SiO2反射膜中,激光预处理技术对于祛除位于基底上种子形成的节瘤是有效的,原因是激光辐射过后该节瘤进行了预喷发并不会对后续激光产生影响;而激光预处理技术对位于膜层中间的可能是镀膜过程中材料飞溅引起的缺陷是无效的,需要通过其他手段对该类节瘤进行祛除。
- 卫耀伟张哲刘浩欧阳升郑轶唐耿宇陈松林马平
- 关键词:激光预处理激光损伤阈值节瘤
- 利用唯象模型解释和理解弱吸收下降曲线
- 2013年
- 观察到了光学基片和薄膜元器在准连续激光辐照下发生了预处理效应。在532nm和355nm激光辐照下,许多样品的弱吸收值呈现出一个相似的下降曲线(ADC);但在1064nm激光辐照下没有此现象。为了解释和进一步理解该现象,合理假设该现象与辐射总能量密度有关,以此建立了一个唯象模型,并进行了一系列推算。推算结论指出:ADC的初始部分形状更多与具体发生的激光预处理机制有关,而尾部形状更多是由于高斯光分布所致;归一化后的ADC以及归一化后的上渐近线,将成为多个ADC曲线之间进行比较的天然度量衡。这些推论得到了实验数据的支持。
- 张哲刘浩陈松林马平
- 关键词:光学薄膜弱吸收激光预处理激光损伤阈值