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渐变折射率Ta_2O_5/SiO_2薄膜多脉冲激光损伤特性被引量：3: 2014年; 采用离子束溅射(IBS)的方式,制备了1064nm高反射Ta2O5/SiO2渐变折射率光学薄膜。对其光学性能和在基频多脉冲下抗损伤性能进行了分析。通过渐变折射率的设计方式,很好地抑制了边带波纹,增加了1064nm反射率。通过对损伤阈值的分析发现,随着脉冲个数的增加,损伤阈值下降明显;但是在20个脉冲数后,损伤阈值(维持在22J/cm2左右)几乎保持不变直到100个脉冲数。通过Leica显微镜对损伤形貌的观察,发现损伤诱因是薄膜表面的节瘤缺陷。通过扫描电镜(SEM)以及聚集离子束(FIB)对薄膜表面以及断面的观察,证实了薄膜的损伤起源于薄膜表面的节瘤缺陷。进一步研究得出,渐变折射率薄膜在基频光单脉冲下损伤主要是由初始节瘤缺陷引起的,在后续多脉冲激光辐照下初始节瘤缺陷引起烧蚀坑的面积扩大扫过薄膜上的其他节瘤缺陷,引起了其他节瘤缺陷的喷射使损伤加剧,造成损伤的"累积效应"。; 蒲云体陈松林乔曌刘浩王刚胡江川马平; 关键词：离子束溅射多脉冲损伤阈值

激光量热计不确定度分析被引量：2: 2011年; 基于激光量热平台,对ISO 11551涉及的3种弱吸收数据处理方法———指数法、脉冲法和梯度法进行了不确定度分析。从回归分析的角度对拟合参数γ和A等进行了不确定度评估,采用Matlab软件进行不确定度的计算。采用B类评定法对质量、功率等测量参数进行不确定度评估。随机选取样本进行多次测量,验证了本文不确定度评估的有效性。分析和实验表明,拟合偏差是弱吸收测量不确定度的主要来源。指数法的相对不确定度约为0.0129,脉冲法的相对不确定度约为0.0029,是最优的数据处理方法,梯度法采用的样本点过于单一,相对不确定度约为0.0961。提高量热计精度的可行途径是改进数据处理方法和提高激光功率测量精度。; 刘浩马平; 关键词：量热计弱吸收不确定度最小二乘

缺陷对HfO2薄膜的激光弱吸收与损伤阈值的影响: 激光弱吸收是导致光学薄膜损伤的重要原因。在0.7-2.7*10Pa的氧分压下制备并测试了一组HfO膜。实验发现,当氧分压小于1.2*10Pa时,薄膜弱吸收越大,损伤阈值越低;当氧分压大于1.2*10Pa时,薄膜的损伤阈值...; 卫耀伟刘浩潘峰吴倩罗晋刘志超郑轶; 文献传递

激光量热法测量K9基片的表面吸收和体吸收被引量：1: 2014年; 表面抛光可能给K9基片带来额外的杂质和吸收,分离K9基片的表面吸收率与体吸收率有助于改进基片的加工质量和抛光工艺,对抗损伤能力研究具有重要意义。分析了激光量热法测量弱吸收的原理,采用符合ISO 11551要求的激光量热计测量K9基片的弱吸收。对相同工艺抛光的不同厚度K9基片进行了弱吸收表征,实验发现K9基片的弱吸收随着厚度增加近似线性增大。推导了表面吸收率和体吸收率的计算式,实验得出本样品的表面吸收率为1.21×10-5,体吸收率远大于表面吸收率,体吸收系数为1.72×10-3/cm。实验结果显示所用K9样品的吸收主要来自于材料本身,改善抛光工艺对降低其吸收率作用不大。; 刘浩潘峰陈松林王震马平欧阳升卫耀伟; 关键词：弱吸收体吸收

利用唯象模型解释和理解弱吸收下降曲线: 2013年; 观察到了光学基片和薄膜元器在准连续激光辐照下发生了预处理效应。在532nm和355nm激光辐照下,许多样品的弱吸收值呈现出一个相似的下降曲线(ADC);但在1064nm激光辐照下没有此现象。为了解释和进一步理解该现象,合理假设该现象与辐射总能量密度有关,以此建立了一个唯象模型,并进行了一系列推算。推算结论指出:ADC的初始部分形状更多与具体发生的激光预处理机制有关,而尾部形状更多是由于高斯光分布所致;归一化后的ADC以及归一化后的上渐近线,将成为多个ADC曲线之间进行比较的天然度量衡。这些推论得到了实验数据的支持。; 张哲刘浩陈松林马平; 关键词：光学薄膜弱吸收激光预处理激光损伤阈值

HfO_2/SiO_2薄膜的激光预处理作用研究被引量：5: 2013年; 激光预处理是提高激光薄膜抗激光损伤阈值的重要手段。对电子束蒸发方式镀制的HfO2/SiO2反射膜采用大口径激光进行了辐照,并采用激光量热计测量了激光辐射前后的弱吸收值。采用聚焦离子束(FIB)技术分析了激光辐照后薄膜的损伤形态并探究了损伤原因,首次采用扫描电镜拍摄到了节瘤部分喷发时的形貌图,并对其进行了FIB分析,为进一步了解节瘤的损伤过程提供了依据。实验发现,激光辐照过后的激光薄膜弱吸收明显降低,激光预处理有效减少了引起薄膜吸收的缺陷,存在明显的清洗效应;在本实验采用的HfO2/SiO2反射膜中,激光预处理技术对于祛除位于基底上种子形成的节瘤是有效的,原因是激光辐射过后该节瘤进行了预喷发并不会对后续激光产生影响;而激光预处理技术对位于膜层中间的可能是镀膜过程中材料飞溅引起的缺陷是无效的,需要通过其他手段对该类节瘤进行祛除。; 卫耀伟张哲刘浩欧阳升郑轶唐耿宇陈松林马平; 关键词：激光预处理激光损伤阈值节瘤

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刘浩