刘亮
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信更多>>
- 一种新型MEMS电磁继电器的研究被引量：1
- 2008年
- 介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成。它采用双层1mm×1mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚酰亚胺作绝缘材料。文中介绍了器件的工作原理,建立了磁路的仿真模型,据此计算确定了气隙宽度和悬臂梁厚度。采用表面微加工和微电铸工艺制作了器件。
- 刘亮赵小林戴旭涵鲁李乐丁桂甫
- 关键词：电磁驱动微继电器微电铸
- MEMS微电磁驱动器的分段磁路模型及实验研究被引量：2
- 2008年
- 介绍了一种MEMS电磁微驱动器。基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,建立了平面线圈微驱动器的非线性磁路模型。实验结果表明,考虑线圈绕组半径不同而产生的磁动势分布效应可以为平面线圈型微驱动器建立可靠的模型。采用硅微细加工技术和微电铸技术成功地制作出了这种微驱动器,并对器件的性能进行了测试,测试结果表明,该模型能很好地计算驱动器的电磁力。
- 鲁李乐赵小林戴旭涵刘亮丁桂甫
- 关键词：电磁驱动
- MEMS电磁继电器微型化的研究
- MEMS微继电器具有体积小、重量轻、成本低等优点。与静电等其它驱动方式相比,电磁驱动的驱动力大、行程远,可实现无接触驱动,与微电子加工工艺兼容,具有巨大的研究价值与应用前景。
本文设计了一种新结构的微电磁继电器...
- 刘亮
- 关键词：电磁驱动继电器聚酰亚胺
- 文献传递
