张丽伟
- 作品数:38 被引量:132H指数:7
- 供职机构:新乡学院物理与电子工程系更多>>
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划河南省科技攻关计划河南省政府决策研究招标课题更多>>
- 相关领域:理学电子电信电气工程文化科学更多>>
- 非晶硅(a-Si:H)薄膜自然衰减和中温光退火的研究
- 2005年
- 通过PECVD法,用玻璃作衬底在200,250,300,350,400,450℃下直接沉积非晶硅(a-Si:H)薄膜,并在避光状态下贮存3个月,把前后样品用拉曼光谱分析,发现非晶硅峰值480 cm-1基本消失;在石英玻璃100℃下沉积非晶硅薄膜在700℃下10 min,700℃下20 min,750℃下2 min,850℃下1 min;850℃下1 min,850℃下2 min,850℃下5 min,850℃下10 min分别用卤钨灯光照退火,发现850℃下5 min已经充分结晶.
- 靳锐敏卢景霄扬仕娥王海燕张丽伟冯团辉
- 关键词:PECVD法非晶硅薄膜自然衰减
- 高气压下微晶硅薄膜的生长及微结构研究(英文)被引量:1
- 2007年
- 通过射频等离子体增强化学气相沉积,在高气压条件下制备了微晶硅薄膜,并用拉曼光谱仪(Ram an)、扫描电镜(SEM)研究了微晶硅薄膜的微观结构。发现沉积速率在5Torr左右出现极大值,薄膜的晶化率随着沉积气压的升高而降低,薄膜表面的晶粒或团簇随着沉积气压的下降而增大,薄膜的粗糙度随着沉积气压的升高而降低。
- 杨根张丽伟卢景霄谷锦华陈永生文书堂汪昌州王子健
- 关键词:等离子体增强化学气相沉积微晶硅薄膜微观结构
- 常规退火与光退火固相晶化的对比被引量:5
- 2005年
- 为研究传统炉子退火与光退火固相晶化的不同特点,用石英玻璃作衬底,在室温、350℃和450℃下用PECVD法直接沉积非晶硅(a-S i:H)薄膜,把沉积的样品分别在850℃下用传统炉子退火3h、用光快速热处理(RTP)5m in,然后用Ram an、XRD和SEM分析对比,发现传统炉子退火后的晶粒分布不均匀,光退火后的晶粒分布均匀。XRD分析发现两种方法晶粒尺寸均为30nm左右。
- 靳锐敏卢景霄王海燕张丽伟王生钊刘萍王红娟
- 关键词:PECVD法非晶硅薄膜晶粒大小拉曼光谱XRDSEM
- 物理教学中的大学生“罗文精神”培养
- 2011年
- 针对当前大学生中普遍存在的学习态度消极、学习行为懒散等现象,讨论了以学科知识教学、著名科学家学术成就简介、产品科学原理分析为内容的培养学生"罗文精神"的教学方法问题,认为,教师用学科知识帮助学生树立正确的人生目标,形成正确的人生价值观,正确认识学科知识与社会需求之间的关系,有利于引导学生形成"罗文精神",把自己培养成为社会有用人才.
- 梅欣丽王新昌张丽伟
- 关键词:大学生物理学罗文精神
- 用改进的RTP低温制备柱状硅薄膜
- 2007年
- 用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)系统在普通玻璃衬底上制备了氢化非晶硅薄膜(a-Si∶H),用改进的快速光热退火炉(RTP)对薄膜进行了低温下的退火处理。借助于扫描电子显微镜(SEM)对薄膜表面形貌的分析得知:本实验在600℃下成功制备了柱状结构多晶硅薄膜;相对来说,550℃退火60 s的柱晶效果最好;最大柱晶宽度达到了240 nm;结晶次序为从表面到内部。对实验结果进行了解释。
- 张丽伟李红菊李瑞卢景霄张宇翔王新昌
- 关键词:硅薄膜快速热退火扫描电子显微镜
- 硅太阳电池稳步走向薄膜化被引量:21
- 2006年
- 考察了硅太阳电池在光伏产业中所处的地位,分析了薄膜硅太阳电池的发展趋势。指出硅太阳电池在未来15a仍将保持优势地位,并继续沿着晶硅电池和薄膜硅电池两个方向发展。在此发展过程中,两个发展方向的主流很可能会汇合到一起,共同促使低成本、高效率、高可靠薄膜晶硅电池的诞生和产业化,从而继续保持硅太阳电池的优势地位。
- 卢景霄张宇翔王海燕靳锐敏张丽伟陈永生郜小勇杨仕娥
- 关键词:硅太阳电池
- 高电导率高晶化率P型微晶硅薄膜的制备被引量:1
- 2008年
- 利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以B2H6为掺杂剂,在玻璃衬底上制备了厚度为40nm左右的p型微晶硅薄膜。为获得高电导率高晶化率的薄膜,采用正交实验法对衬底温度、氢稀释比及硼烷掺杂比等主要沉积参数进行初步优化。Raman光谱和电导率测试结果表明:(1)在实验选取的参数范围内,衬底温度是影响薄膜暗电导率和晶化率的最主要因素,其次是氢稀释比,硼烷掺杂比的影响相对较小;(2)通过正交优化,获得了暗电导率为2.05S·cm-1、晶化率为86%的p型微晶硅薄膜。
- 赵尚丽杨仕娥张丽伟陈永生陈庆东卢景霄
- 关键词:晶化率
- AsP(X^1Σ^+)基态的势能函数与光谱常数被引量:1
- 2014年
- 运用多种方法和基组对AsP基态X1Σ+的平衡结构进行优化计算,其中B3LYP/6-311++G(3df,3pd)的计算结果与实验值一致,得出此方法为最优方法.然后选用此方法对其进行谐振频率计算,得到谐振频率ωe=629.820 3 cm-1,并用最小二乘法把扫描的单点能拟合为Murrell-Sorbie函数,由势能函数参数计算与AsP基态X1Σ1相对应的光谱常数,结果与实验数据较为一致.
- 蒋利娟赵红枝梁彦天张丽伟
- 关键词:光谱常数MURRELL-SORBIE函数
- 纠正一幅静电场中的导体的图像
- 1998年
- 纠正一幅静电场中的导体的图像梁彦天张丽伟(新乡师范高等专科学校,453000,新乡;第1作者39岁,男,副教授)图1静电感应示意图1981年高考题第1(4)小题[1]给出一幅静电场中的圆锥形导体上感应电荷分布的图像.如图1所示,我们认为:这幅图像是错...
- 梁彦天张丽伟
- 关键词:电磁学静电场导体点电荷
- VHF-PECVD制备微晶硅薄膜的微结构研究被引量:1
- 2009年
- 用甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)法在玻璃衬底上低温制备了不同沉积时间微晶硅薄膜。用拉曼散射光谱仪、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等表征手段对薄膜的微观结构进行了研究。研究结果表明:随着沉积时间的延长,薄膜呈岛状生长,薄膜晶粒度在微晶核形成后迅速升高并逐渐饱和;其微观结构经历了"非晶相→非晶/微晶混合相→微晶相"的演变过程。本实验制备的微薄膜仍以(111)为优化取向。
- 张丽伟张丽伟余泽通杨根
- 关键词:微晶硅薄膜微观结构微观形貌