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华庆恒

作品数：7 被引量：6H指数：1
供职机构：电子工业部更多>>
相关领域：电子电信理学电气工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 1篇会议论文
  • 1篇标准

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 5篇XPS
  • 2篇异质结
  • 2篇异质结材料
  • 2篇射线
  • 2篇X射线
  • 1篇电解电容器
  • 1篇电路
  • 1篇电容
  • 1篇电容器
  • 1篇电子能
  • 1篇电子能谱
  • 1篇氧化铝
  • 1篇在线控制
  • 1篇润滑
  • 1篇润滑轴承
  • 1篇双极晶体管
  • 1篇能谱
  • 1篇能谱仪
  • 1篇轴承
  • 1篇自润滑

机构

  • 7篇电子工业部

作者

  • 7篇华庆恒
  • 6篇任殿胜
  • 6篇严如岳
  • 1篇段曙光

传媒

  • 3篇分析测试学报
  • 1篇半导体情报
  • 1篇Chines...
  • 1篇中国电子学会...

年份

  • 3篇1997
  • 3篇1996
  • 1篇1995
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
Al_xGa_(1-x)As/GaAs异质结材料的XPS研究
1997年
用Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）结合氩离子溅射深度剖析对一系列不同ｘ值的ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ／ＧａＡｓ异质结材料中各主元素的分布及化学状态和相对含量的变化进行了分析，发现Ａｌ向表面偏析的现象及Ａｓ和Ａｌ的择优溅射问题，并对此进行了讨论。同时用ＸＰＳ法进行了Ａｌ的定量分析，并与光致发光法测得的ｘ值进行了对比，发现二者有非常好的线性关系。
任殿胜华庆恒刘咏梅严如岳
关键词：XPS异质结材料镓
自润滑轴承失效原因的XPS分析
1996年
用Ｘ射线光电子能谱仪（ＸＰＳ）对失效前后的自润滑轴承各部件表面的化学组成及其状态进行了分析，结果表明失效前后表面性质差异较大，失效是由于自润滑膜破损耗尽所致。
任殿胜严如岳李岩松刘咏梅华庆恒
关键词：自润滑轴承XPS
检查X射线光电子能谱仪工作特性的标准方法
1.1 本标准规定了X射线光电子能谱仪信背比、分辨力、短期电压稳定性、传输特性及能量坐标线性等工作特性的检查过程。1.2本标准适用于能量通道为数字计数存储的谱仪。1.3 本标准旨在对仪器制造厂商提出的校准步骤进行补充。不...
任殿胜严如岳华庆恒刘咏梅段曙光
关键词：X射线光电子能谱仪工作特性
文献传递
XPS法测量铝箔表面氧化铝的厚度被引量：5
1996年
介绍了一种无需溅射、无需变角，只需一次简单的ＸＰＳ（Ｘ射线光电子能谱）窄扫描，即可根据谱图中氧化态和金属态的相对强度算出铝金属表面氧化铝的厚度。用该法测量了一系列不同方法处理的铝表面氧比铝厚度，并与椭偏法及ＮＲＡ法（核反应分析法）测定结果进行了对比，结果表明，该法是一种简便准确的膜厚测量法。
任殿胜华庆恒严如岳刘咏梅
关键词：电解电容器铝箔氧化铝厚度XPS
用AES/XPS对异质结材料的研究被引量：1
1997年
用俄歇电子能谱（ＡＥＳ）和ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）结合氩离子溅射深度剖析对一系列不同ｘ值的ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ／ＧａＡｓ异质结材料中各主元素的分布及化学状态和相对含量的变化进行了分析，发现Ａｌ向表面偏析的现象及Ａｓ和Ａｌ的择优溅射问题，并对此进行了讨论。同时用ＸＰＳ法进行了Ａｌ的定量分析，并与光致发光法（ＰＬ）测得的ｘ值进行了对比。
任殿胜严如岳华庆恒刘咏梅
关键词：异质结X射线光电子能谱双极晶体管
集成电路生产中的分析测试技术
微电子技术是本世纪60年代以来对现代社会各个领域影响最大的一项工业技术,自1959年第一块集成电路问世以来,由于它能够比分离器件提供更优越的功能,发展十分迅猛,器件尺寸每年以20%速率递减,目前特征线宽已可做到0.5μm...
华庆恒
关键词：集成电路在线控制测试技术
匀胶铬版表面界面微观构成的X射线光电子能谱表征
1997年
用Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）研究了几种不同工艺制备的匀胶铬版表面、铬膜内部以及各层之间界面处的微观化学组成和化学状态，讨论了不同工艺对铬版材料微观构成及宏观特性的影响。
任殿胜华庆恒严如岳刘咏梅
关键词：XPS
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