任殿胜
- 作品数：21 被引量：36H指数：5
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术机械工程更多>>
- 紫外光-臭氧处理法在砷化镓器件中的应用
- 本文应用紫外光—臭氧处理方法对砷化镓晶片表面进行了氧化钝化处理,并应用于场效应晶体管的制作工艺中,对比测试了器件性能参数.
- 任殿胜王为李雨辰严如岳
- 关键词：半导体器件
- 文献传递
- 砷化镓半导体表面自然氧化层的X射线光电子能谱分析被引量：5
- 2003年
- 用X射线光电子能谱 (XPS) ,测量了Ga3d和As3d光电子峰的结合能值 ,指认了砷化镓 (GaAs)晶片表面的氧化物组成 ,计算了表面氧化层的厚度 ,定量分析了表面的化学组成 ;比较了几种不同的砷化镓晶片表面的差异。结果表明 :砷化镓表面的自然氧化层主要由Ga2 O3 、As2 O5、As2 O3 和单质As组成 ,表面镓砷比明显偏离理想的化学计量比 ,而且 ,氧化层的厚度随镓砷比的增大而增加 ;溶液处理后 ,砷化镓表面得到了改善。讨论了可能的机理。
- 任殿胜王为李雨辰严如岳
- 关键词：X射线光电子能谱
- Al_xGa_(1-x)As/GaAs异质结材料的XPS研究
- 1997年
- 用Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）结合氩离子溅射深度剖析对一系列不同ｘ值的ＡｌｘＧａ１－ｘＡｓ／ＧａＡｓ异质结材料中各主元素的分布及化学状态和相对含量的变化进行了分析，发现Ａｌ向表面偏析的现象及Ａｓ和Ａｌ的择优溅射问题，并对此进行了讨论。同时用ＸＰＳ法进行了Ａｌ的定量分析，并与光致发光法测得的ｘ值进行了对比，发现二者有非常好的线性关系。
- 任殿胜华庆恒刘咏梅严如岳
- 关键词：XPS异质结材料镓
- 铝箔／聚酰亚胺粘接界面的ＸＰＳ研究
- 任殿胜严如岳
- 关键词：聚酰亚胺铝箔粘接界面态化学分析电子谱法
- 大规模集成电路用匀胶铬版的ＸＰＳ研究
- 严如岳任殿胜
- 关键词：大规模集成电路铬电器元件
- 用XPS研究不同方法处理的砷化镓表面
- 本文用X射线光电子能谱分析技术(XPS)研究了砷化镓晶片自然氧化层的化学组成和化学计量比,研究了氧化处理技术对砷化镓表面的影响.
- 任殿胜王为李雨辰严如岳
- 关键词：砷化镓化合物半导体氧化层
- 文献传递
- 利用XPS研究紫外光激发下GaAs晶片表面氧化反应
- 2005年
- 本文用XPS分析紫外光激发氧化反应后砷化镓表面的化学组成和氧化层厚度。发现,紫外光激发下,GaAs表面生成氧化膜,同时清除表面污染碳。氧化膜中的镓砷比可以与基体完全保持一致。用此方法获得具有一定的化学稳定性的,适合于器件制备的钝化层。发现紫外光激发的砷化镓表面氧化反应的实质是光催化反应。用“紫外光/臭氧处理法”处理的GaAs晶片。
- 李雨辰任殿胜
- 关键词：XPS研究晶片砷化镓表面氧化层厚度XPS分析表面污染
- 检查X射线光电子能谱仪工作特性的标准方法
- 1.1 本标准规定了X射线光电子能谱仪信背比、分辨力、短期电压稳定性、传输特性及能量坐标线性等工作特性的检查过程。1.2本标准适用于能量通道为数字计数存储的谱仪。1.3 本标准旨在对仪器制造厂商提出的校准步骤进行补充。不...
- 任殿胜严如岳华庆恒刘咏梅段曙光
- 关键词：X射线光电子能谱仪工作特性
- 文献传递
- 自润滑轴承失效原因的XPS分析
- 1996年
- 用Ｘ射线光电子能谱仪（ＸＰＳ）对失效前后的自润滑轴承各部件表面的化学组成及其状态进行了分析，结果表明失效前后表面性质差异较大，失效是由于自润滑膜破损耗尽所致。
- 任殿胜严如岳李岩松刘咏梅华庆恒
- 关键词：自润滑轴承XPS
- Na_2S钝化的GaAs表面光荧光特性的研究
- 2003年
- 本文用RPM2050型快速扫描光荧光谱仪(PL Mapper)研究经过Na2S.9H2O醇饱 和溶液钝化处理后GaAs表面的光荧光特性。结果表明,GaAs表面经过硫钝化处理后,可 大大降低复合速度改善发光效率。
- 李静任殿胜李光平严如岳汝琼娜董颜辉
- 关键词：砷化镓发光效率光荧光谱化合物半导体
