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丁谦

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：广州有色金属研究院更多>>
发文基金：广东省自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术化学工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇碳化
  • 1篇热解
  • 1篇热丝
  • 1篇钨丝
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇合成金刚石
  • 1篇刚石
  • 1篇钨
  • 1篇HFCVD

机构

  • 2篇华南理工大学
  • 2篇广州有色金属...

作者

  • 2篇刘正义
  • 2篇周克崧
  • 2篇代明江
  • 2篇邱万奇
  • 2篇陈剑惠
  • 2篇王德政
  • 2篇丁谦

传媒

  • 2篇理化检验（物...

年份

  • 1篇1999
  • 1篇1998
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
金刚石薄膜制备和评价被引量：2
1998年
采用平直钨丝作热解源,并借助钨丝支架的弹性恢复力,较好地解决了热丝热解化学气相沉积法(HFCVD)合成金刚石过程中热解丝的变形问题.样品独立加热,基片温度、钨丝温度、钨丝与样品基片距离均可独立调节.装置改进后,在Si(100)上合成了面积大约45mm×25mm的比较均匀的金刚石膜.用扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱和X射线衍射仪对制备的金刚石膜进行了分析.
邱万奇刘正义陈剑惠刘志唐周克崧代明江王德政丁谦
关键词：金刚石薄膜热丝HFCVD
提高HFCVD法合成金刚石中钨热解丝寿命的措施被引量：1
1999年
HFCVD法合成的金刚石中钨热解丝在沉积过程中因碳化而产生裂纹,在停机操作时钨热解丝因骤冷产生了热应力而断裂。停机操作前采用碳化钨还原技术及减缓钨丝冷却速度,可将钨丝的寿命提高3～5倍。
邱万奇刘正义陈剑惠周克崧代明江王德政丁谦
关键词：钨丝碳化金刚石膜
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