陈剑惠
- 作品数：7 被引量：17H指数：2
- 供职机构：华南理工大学机械与汽车工程学院机械电子工程系更多>>
- 发文基金：广东省自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 微波硫灯系统及其进展被引量：2
- 2000年
- 本文从微波硫灯的结构、工作激励与特性、微波硫灯系统组成以及其产品开发与发展动态等方面对微波硫灯系统做了综合的介绍。
- 马开陈剑惠许崇杰
- 关键词：微波硫灯微波源
- 提高HFCVD法合成金刚石中钨热解丝寿命的措施被引量：1
- 1999年
- HFCVD法合成的金刚石中钨热解丝在沉积过程中因碳化而产生裂纹,在停机操作时钨热解丝因骤冷产生了热应力而断裂。停机操作前采用碳化钨还原技术及减缓钨丝冷却速度,可将钨丝的寿命提高3～5倍。
- 邱万奇刘正义陈剑惠周克崧代明江王德政丁谦
- 关键词：钨丝碳化金刚石膜
- 光码分多址系统关键技术与发展前景被引量：6
- 2000年
- 着重分析光码分多址 (OCDMA)系统实现中的关键技术及其发展动态 。
- 马开许崇杰陈剑惠
- 关键词：密集波分复用扩频序列
- (100)面金刚石的扩散形成
- 1999年
- 在纯氢气气氛中对用ＨＦＣＶＤ法制备的无晶面的微晶金刚石薄膜进行了扩散热处理，结果表明，微晶金刚石在扩散热处理过程中将选择性长大，形成（１００）面金刚石，对低压合成金刚石过程中形成（１００）面金刚石和扩散热处理中形成的（１００）面金刚石的机理作了讨论。
- 邱万奇刘正义陈剑惠周克崧周克崧代明江
- 关键词：热丝金刚石微晶扩散
- 球形金刚石的形成机制被引量：6
- 2002年
- 在 p Si(10 0 )基体上用热丝CVD法沉积了球形金刚石薄膜。用XL30FEG扫描电镜、X射线衍射仪及Raman光谱仪对不同沉积时间的球形金刚石的微观形貌及组成成分进行了研究 ,并对其形成机制进行了分析。结果表明 :球形金刚石的颗粒密度和形核密度一致 ,球形金刚石由微晶金刚石组成 ,晶粒尺寸为 70～ 2 0 0nm ;微晶金刚石是沉积过程中快速二次形核而形成 ,呈无序分布 ;
- 邱万奇刘正义陈剑惠
- 关键词：微晶化学气相沉积法金刚石薄膜
- 金刚石薄膜制备和评价被引量：2
- 1998年
- 采用平直钨丝作热解源,并借助钨丝支架的弹性恢复力,较好地解决了热丝热解化学气相沉积法(HFCVD)合成金刚石过程中热解丝的变形问题.样品独立加热,基片温度、钨丝温度、钨丝与样品基片距离均可独立调节.装置改进后,在Si(100)上合成了面积大约45mm×25mm的比较均匀的金刚石膜.用扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱和X射线衍射仪对制备的金刚石膜进行了分析.
- 邱万奇刘正义陈剑惠刘志唐周克崧代明江王德政丁谦
- 关键词：金刚石薄膜热丝HFCVD
- 光码分多址系统关键技术与发展前景
- 该文在介绍了OCDMA的原理、系统与特点的基础上，着重分析了系统实现中的关键技术及其发展动态，并对OCDMA技术存在的问题和发展前景作了深入的探讨。
- 马开陈剑惠许崇杰谭景华
- 关键词：多用户干扰密集波分复用
- 文献传递
