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高福亮

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京京东方光电科技有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇入口处
  • 1篇气刀
  • 1篇基板
  • 1篇吹扫

机构

  • 1篇北京京东方光...

作者

  • 1篇肖红玺
  • 1篇林雨
  • 1篇吴平
  • 1篇高福亮

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种基板处理装置
本实用新型公开了一种基板处理装置，该装置包括处理基板的处理设备，以及设置于所述处理设备入口处的气刀。本实用新型的基板处理装置，能够对要进入处理设备的基板进行吹扫，以尽量去除基板上的杂质。这样，最终进入处理设备的基板上几乎...
蒋会刚肖红玺刘华锋吴平谢海征高福亮林雨
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