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赵科新

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
相关领域：电子电信化学工程更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 2篇中文科技成果

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇导体
  • 1篇气相沉积
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇高真空
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体薄膜

机构

  • 2篇浙江大学

作者

  • 2篇汪雷
  • 2篇雷震霖
  • 2篇黄靖云
  • 2篇叶志镇
  • 2篇赵炳辉
  • 2篇赵科新
  • 1篇张银珠
  • 1篇汤建飞
  • 1篇吴贵斌
  • 1篇谢琪
  • 1篇张振厚
  • 1篇吴光豪
  • 1篇李先杭
  • 1篇胡幸鸣
  • 1篇崔继峰
  • 1篇卢焕明
  • 1篇朱丽萍

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2004
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
相关度排序
先进高真空化学气相沉积系统研发及应用
叶志镇黄靖云雷震霖赵科新汪雷张振厚吴光豪汤建飞赵炳辉张银珠李先杭朱丽萍胡幸鸣
该项目属于薄膜材料先进制备技术领域。国内首先提出高真空技术和化学气相沉积相结合的概念，发展了一种高真空和超高真空化学气相沉积（UHV/CVD）薄膜新技术。已授权专利4项，其中国家发明专利2项。1996年该项目自主设计、创...
关键词：
关键词：高真空化学气相沉积
高真空CVD低温外延技术及其应用
叶志镇赵炳辉黄靖云雷震霖谢琪赵科新汪雷吴贵斌崔继峰卢焕明
为了克服普通常压高温（＞1000℃）CVD外延技术基底杂质外扩散、自掺杂严重，不能生长亚微米、纳米薄层材料的缺点。我们于国内首先提出超高真空（UHV）CVD低温外延技术新思想，设计出第一个UHVCVD设备方案，建成了第一...
关键词：
关键词：半导体薄膜
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