窦银萍
- 作品数：18 被引量：65H指数：4
- 供职机构：长春理工大学理学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金吉林省教育厅科研项目更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程文化科学更多>>
- 一种采用飞秒激光加工多种纳米图案的方法
- 本发明涉及一种采用飞秒激光加工多种纳米图案的方法，属于纳米结构制备技术领域。本发明包括七个步骤：(1)将清洗后的硅片做亲水处理后清洗吹干；(2)将浓度为5％的、粒子直径为200nm且溶剂为去离子水的金纳米粒子溶液与柠檬酸...
- 宋晓伟窦银萍林景全孙雪
- 一种利用玻璃掺杂钆靶获得高光谱纯度极紫外光源的方法
- 极紫外光源(输出波长在5‑50 nm之间)在诸多领域有着非常重要的应用。本发明公开了一种利用玻璃掺杂钆（或钆化合物）靶获得高光谱纯度6.7nm极紫外光源的方法，这种方法有效压缩光谱宽度，降低离带热，有效防止多层膜光收集镜...
- 林景全陶海岩窦银萍
- 文献传递
- 激光辅助放电等离子体极紫外光源研究进展被引量：1
- 2019年
- 极紫外光刻技术可以制造特征尺寸小于22 nm的芯片,是推动半导体集成电路发展的重要手段。极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分。激光辅助放电等离子体极紫外光源方法可以使传统固体靶材作为放电等离子体所需要的材料,其装置结构简单,产生极紫外光源功率高,能够精确控制放电时间和提高放电的稳定性等,具有良好的应用前景。本文系统阐述了激光辅助放电等离子体极紫外光源相关研究进展,介绍靶材作为不同电极极性、不同放电参数和激光参数下放电等离子体极紫外光源的产生,并对不同条件下产生极紫外光源的特点进行了归纳总结,为更好地使用激光辅助放电等离子体进行产生极紫外光源提供有益的参考。
- 吴家志谢卓窦银萍林景全
- 物理光学课程“以学生为中心”教学模式改革探索与实践被引量：4
- 2023年
- 在原有的物理光学课程教学中,教师占据主导地位,只注重知识讲解,学生只能机械地接受教师灌输的知识,这种以教师为主体的教学模式忽视了学生在教学过程中的认知主体地位,忽略了学生创新思维和创新能力的培养。为改善上述问题,开展了物理光学课程“以学生为中心”教学模式改革探索与实践。采用常规课堂教学与虚拟仿真相结合的课堂教学设计,充分发挥学生的主体作用,培养学生的积极性和创造性,对物理光学课程的教学改革具有一定的指导意义。
- 郭丽君李昌立任玉窦银萍匡尚奇
- 关键词：教学设计物理光学
- 电感耦合等离子体质谱法同时测定地下水中硼溴碘被引量：30
- 2008年
- 建立了电感耦合等离子体质谱法同时测定地下水中B、Br、I的方法。选定φ=2％（体积分数）的稀NH3·H2O介质消除碘的记忆效应。采用干扰较少的^10B和^79Br同位素。B、Br,I在0～10000ng／mL呈良好的线性关系。方法的检出限为^10B 0．176ng／mL，^79Br 0．876ng／mL，^127I 0．132ng／mL；精密度（RSD，n=12）为^10B 2．86％，^79Br 3.36％，^127I 2．69％；^10B的阶梯加标回收率为94．6％～101．5％，^79Br为98．3％～104．9％，^127I为96．5％～102.0％。
- 黄光明窦银萍张静梅张培新高孝礼
- 关键词：电感耦合等离子体质谱法硼溴碘地下水
- Bi靶激光等离子体极紫外光源以及碎屑辐射特性研究被引量：1
- 2022年
- 激光等离子体极紫外光源具有体积小、稳定性高和输出波长可调节等优势,在极紫外光刻领域发挥着重要的作用。Bi靶激光等离子体极紫外光源在波长9~17 nm范围内具有较宽的光谱,可应用于制造极紫外光刻机过程中所需的极紫外计量学领域。利用平像场光谱仪和法拉第杯对Bi靶激光等离子体极紫外光源以及离子碎屑辐射特性进行了实验研究。在单脉冲激光打靶条件下,实验中观察到Bi靶激光等离子极紫外光谱在波长12.3 nm处出现了一个明显的凹陷,其对应着Si L-edge的吸收,是Bi元素光谱的固有属性。相应地在波长为11.8和12.5 nm位置处产生了两个宽带的辐射峰。研究了两波长光谱特性以及辐射强度随激光功率密度的变化。结果表明,在改变聚焦光斑大小实现不同激光功率密度(0.7×10^(10)~3.1×10^(10) W·cm^(-2))过程中,当功率密度为2.0×10^(10) W·cm^(-2)时两波长处的光辐射最强,其原因归结为Bi靶极紫外光辐射强度受激光能量用于支撑等离子膨胀的损失和极紫外光被等离子体再吸收之间的平衡制约所致。在改变激光能量实现不同激光功率密度过程中,由于烧蚀材料和产生两波长所需高阶离子随着功率密度的增加而增加,增强了两波长处的光辐射。进一步,研究了双脉冲激光对Bi靶极紫外光谱辐射特性影响,实验发现双脉冲打靶下原来在单脉冲打靶时出现在波长13~14 nm范围内的凹陷消失。最后,对单脉冲激光作用Bi靶产生极紫外光源碎屑角分布进行了测量。结果表明,当探测方向从靶面法线方向移动到沿着靶面方向上的过程中,探测到Bi离子动能依次减小,并且离子动能随激光脉冲能量降低而呈线性减小。此项研究有望为我国在研制极紫外光刻机过程所需的计量学领域提供技术支持和打下夯实的基础。
- 谢卓王海建窦银萍宋晓伟林景全
- 关键词：双脉冲
- 双激光脉冲打靶形成Gd等离子体的极紫外光谱辐射被引量：2
- 2022年
- 高端芯片制造所需要的极紫外光刻技术位于我国当前面临35项“卡脖子”关键核心技术之首.高转换效率的极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分.本文通过采用双激光脉冲打靶技术实现较强的6.7 nm极紫外光输出.首先,理论计算Gd^(18+)-Gd^(27+)离子最外层4d壳层的4p-4d和4d-4f能级之间跃迁、以及Gd^(14+)-Gd^(17+)离子最外层4f壳层的4d-4f能级之间跃迁对波长为6.7 nm附近极紫外光的贡献.其后开展实验研究,结果表明,随着双脉冲之间延时的逐渐增加,波长为6.7 nm附近的极紫外光辐射强度呈现先减弱、后增加、之后再减弱的变化趋势,在双脉冲延时为100 ns处产生的极紫外光辐射最强.并且,在延时为100 ns处产生的光谱效率最高,相比于单脉冲激光产生的光谱效率提升了33%.此外,发现双激光脉冲打靶技术可以有效地减弱等离子体的自吸收效应,获得的6.7 nm附近极紫外光谱宽度均小于单激光脉冲打靶的情形,且在脉冲延时为30 ns时刻所产生的光谱宽度最窄,约为单独主脉冲产生极紫外光谱宽度的1/3.同时,Gd极紫外光谱的变窄提高了波长为6.7 nm(0.6%带内)附近的光谱利用效率.
- 谢卓温智琳司明奇窦银萍宋晓伟林景全
- 关键词：双脉冲
- 双脉冲激光锡等离子体光源的碎屑动力学研究被引量：2
- 2015年
- 极紫外光刻是下一代大容量集成电路制造中最有发展前景的技术之一,而碎屑的减缓及阻挡一直是极紫外光刻光源研究中亟需解决的关键问题。研究了双纳秒激光脉冲辐照锡靶产生的等离子体碎屑的动力学演化。结果表明,等离子体碎屑强烈依赖于预脉冲的能量及其与主脉冲的时间延迟,当预脉冲能量为30mJ,双脉冲时间间隔150ns情况下,大部分锡离子的能量从2.47keV降低到0.40keV,降低了6.1倍,碎屑得到了有效抑制。通过对碎屑动能角分布的测量,发现此方法可以有效减缓全角度范围的激光锡等离子体碎屑,并且越接近靶材法线方向,碎屑的动能减少得越多。
- 刘超智窦银萍张龙孙长凯郝作强林景全
- 关键词：激光等离子体双脉冲
- 6.7nm输出波长Gd靶激光等离子体极紫外光源的研究
- 极紫外光刻技术是制造特征尺寸小于22 nm芯片的首选关键技术，光源是极紫外光刻系统的重要组成部分。激光等离子体极紫外光源因体积小、亮度高并通过选择靶材及控制等离子体参数可实现光源的输出波长调谐等诸多优点而受到研究人员的青...
- 窦银萍
- 关键词：极紫外光刻激光等离子体动力学特性
- 激光等离子体极紫外光刻光源被引量：16
- 2013年
- 研究并讨论了下一代光刻的核心技术之一—激光等离子体极紫外光刻光源。简要介绍了欧美和日本等国极紫外光刻技术的发展概况,分析了新兴的下一代13.5 nm极紫外光刻光源的现状,特别讨论了国内外激光等离子体极紫外光刻光源的现状,指出目前其存在的主要问题是如何提高光源的转化效率和减少光源的碎屑。文中同时概述了6.x nm(6.5～6.7 nm)极紫外光刻光源的最新研究工作。最后,介绍了作者所在研究小组近年来在极紫外光源和极紫外光刻掩模缺陷检测方面开展的研究工作。
- 窦银萍孙长凯林景全
- 关键词：极紫外光刻激光等离子体
