孙长凯
- 作品数：6 被引量：36H指数：3
- 供职机构：长春理工大学理学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金吉林省科技厅资助项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 激光等离子体极紫外光刻光源被引量：16
- 2013年
- 研究并讨论了下一代光刻的核心技术之一—激光等离子体极紫外光刻光源。简要介绍了欧美和日本等国极紫外光刻技术的发展概况,分析了新兴的下一代13.5 nm极紫外光刻光源的现状,特别讨论了国内外激光等离子体极紫外光刻光源的现状,指出目前其存在的主要问题是如何提高光源的转化效率和减少光源的碎屑。文中同时概述了6.x nm(6.5～6.7 nm)极紫外光刻光源的最新研究工作。最后,介绍了作者所在研究小组近年来在极紫外光源和极紫外光刻掩模缺陷检测方面开展的研究工作。
- 窦银萍孙长凯林景全
- 关键词：极紫外光刻激光等离子体
- 空气中飞秒激光等离子体荧光辐射光谱研究被引量：1
- 2012年
- 系统地研究了不同聚焦条件下飞秒激光空气等离子体的荧光辐射特性以及空间演化情况.在紧聚焦情况下,由于焦点附近比较高的激光强度以及比较高的电子密度,辐射光谱表现为连续谱和线状原子光谱的叠加.在弱聚焦情况下,辐射光谱主要由很多分子线谱组成,而没有观测到连续谱的产生.还研究了光谱谱线强度随激光传输距离的演化情况,结果显示,光谱谱线的强度变化在一定程度上间接反映了等离子体细丝的演化情况.
- 郭凯敏高勋郝作强鲁毅孙长凯林景全
- 关键词：飞秒激光荧光光谱
- 合金钢的激光诱导击穿光谱实验条件优化被引量：9
- 2013年
- 利用1 064nm波长Nd∶YAG脉冲激光诱导击穿合金钢产生激光等离子体光谱,采用高分辨率及门宽控制的ICCD探测LIBS信号光谱。选用铁元素原子谱线404.581,414.387,427.176和438.355nm进行分析,研究了不同实验参数对LIBS光谱信号强度的影响结果。实验结果表明,激光脉冲能量、激光聚焦位置以及ICCD探测器的延时等实验参数对合金钢LIBS信号有较大影响。通过优化这些实验参数,获得高光谱强度和信背比的LIBS信号,确定了LIBS技术用于合金钢微量元素成分分析的最佳实验条件,从而开展合金钢样品成分分析。
- 邵妍高勋杜闯赵振明陈伟钰郝作强孙长凯林景全
- 关键词：激光诱导击穿光谱光谱强度信背比合金钢
- 双脉冲激光锡等离子体光源的碎屑动力学研究被引量：2
- 2015年
- 极紫外光刻是下一代大容量集成电路制造中最有发展前景的技术之一,而碎屑的减缓及阻挡一直是极紫外光刻光源研究中亟需解决的关键问题。研究了双纳秒激光脉冲辐照锡靶产生的等离子体碎屑的动力学演化。结果表明,等离子体碎屑强烈依赖于预脉冲的能量及其与主脉冲的时间延迟,当预脉冲能量为30mJ,双脉冲时间间隔150ns情况下,大部分锡离子的能量从2.47keV降低到0.40keV,降低了6.1倍,碎屑得到了有效抑制。通过对碎屑动能角分布的测量,发现此方法可以有效减缓全角度范围的激光锡等离子体碎屑,并且越接近靶材法线方向,碎屑的动能减少得越多。
- 刘超智窦银萍张龙孙长凯郝作强林景全
- 关键词：激光等离子体双脉冲
- 基于LIBS技术人参样品聚类分析及重金属检测研究被引量：9
- 2020年
- 人参作为东北地区重要的经济作物,是著名的"东北三宝"之一。随着社会经济的快速发展,人们对于养生保健产品的重视度和需求量也随之提高。目前,市场所售人参存在农残超标、品质较差和种类混乱的现象,而且含有重金属元素的人参对于食用者会造成极大的危害。传统人参识别方法主要是根据人参基源、性状、显微和理化特性对人参进行生药研究,但是这些方法存在人为因素影响、繁琐复杂的样品预处理和二次污染的问题,不能实现可靠快速检测。基于激光诱导击穿光谱技术(LIBS)结合主成分分析法(PCA)对人参产地和人参部位进行聚类分析,以及对人参重金属元素进行定量分析。采集吉林省5个产地6种人参的LIBS光谱数据(200~975 nm),通过对光谱进行平均值预处理,利用PCA算法对光谱数据进行降维、聚类分析,实现人参产地快速聚类识别、同一产地的园参与林下参的聚类识别以及同一株人参的不同部位聚类识别。实验结果发现,由于同株人参不同部位的元素含量区别不大,造成人参主干和参须部位聚类效果不佳,对于6种人参可实现较好的分类效果。最后对人参样品中重金属元素Pb和Cr进行了定量分析,计算得到人参中Pb和Cr元素的检测限(LOD)分别为9.55和10.86 mg·kg^-1,去一交互均方根误差(RMSECV)分别为0.011和0.023 Wt.%。结果表明LIBS结合PCA算法对于人参分类和重金属检测具有较好的应用前景。
- 赵上勇周志明宋超孙长凯雷俊杰高勋
- 关键词：激光诱导击穿光谱主成分分析法聚类分析检测限
- 声学法判断金属铝板靶激光支持爆轰波的点燃阈值
- 2013年
- 基于声学法对1064和355nm激光脉冲作用金属铝板的激光支持爆轰波（LSDW）点燃阈值进行了研究，理论分析了激光等离子体声波压强与冲击波的膨胀速度关系，歼展了1064nm和355nm激光作用铝板靶的实验研究。实验结果表明等离子体声波存在时间为毫秒量级，其峰值强度呈指数衰减趋势。实验发现激光作用铝板产生的等离子体声波信号幅度随激光功率密度的增加而增加，但是在激光功率密度增加的过程中等离子体声波峰值强度出现两次跃变，由此判断出1064nm和355nm激光产生的LSDW的点燃阈值范围分别为（3．95～13．05）×10^8W/cm^2和（3．14～10．07）×10^8W/cm^2。分析了激光波长因素对LSDW点燃阈值的影响。
- 刘天航高勋刘泽昊郝作强孙长凯林景全
- 关键词：激光技术激光等离子体
