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洪根生
作品数:
2
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供职机构:
中国电子科技集团第五十八研究所
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合作作者
王栋
中国电子科技集团第五十八研究所
陈正才
中国电子科技集团第五十八研究所
刘国柱
中国电子科技集团第五十八研究所
徐静
中国电子科技集团第五十八研究所
罗静
中国电子科技集团第五十八研究所
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作者
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罗静
2篇
徐静
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刘国柱
2篇
陈正才
2篇
洪根生
2篇
王栋
年份
1篇
2016
1篇
2013
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一种ONO反熔丝单元结构及其制备方法
本发明涉及一种ONO反熔丝单元结构及其制备方法,属于微电子的技术领域。按照本发明提供的技术方案,所述ONO反熔丝单元结构,包括下电极板,所述下电极板包括衬底,所述衬底的上部设有场氧及N+扩散区;所述N+扩散区的正上方设置...
刘国柱
徐静
陈正才
洪根生
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罗静
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一种ONO反熔丝单元结构及其制备方法
本发明涉及一种ONO反熔丝单元结构及其制备方法,属于微电子的技术领域。按照本发明提供的技术方案,所述ONO反熔丝单元结构,包括下电极板,所述下电极板包括衬底,所述衬底的上部设有场氧及N+扩散区;所述N+扩散区的正上方设置...
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