杨昊宇
- 作品数:5 被引量:18H指数:2
- 供职机构:上海交通大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金教育部科学技术研究重大项目更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 一种微电磁驱动的MEMS可调光衰减器被引量:2
- 2007年
- 介绍了一种电磁驱动型MEMS可调光衰减器,该器件通过调节微挡光片在光路中的位置控制衰减量.以铜作为牺牲层,由电镀铁镍作为结构层的非硅表面微加工微技术被应用于挡光片的制作上,此项技术与硅的体加工技术相结合有望降低器件的加工成本.此外,还分析了该可调光衰减器的衰减机理,理论计算结果与实验数据基本吻合.实验测得样机性能为,插入损耗低于3dB,动态范围大于40dB,回波损耗大于40dB.
- 邵国成杨昊宇戴旭涵赵小林丁桂甫
- 关键词:微机电系统光衰减器电磁驱动
- 一种闭环控制的错位型MEMS可调光衰减器被引量:6
- 2006年
- 针对一种错位型MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)可调光衰减器,基于输入输出光纤间模场的交叠积分,数值分析了径向偏差和轴向间隙同时存在的情况下,光功率衰减量与错位量和波长的关系.演示了利用闭环反馈控制系统提高器件响应线性度的显著效果.研制出样机并测量得到器件的响应时间(约1.5ms),动态范围(约35dB),波长相关损耗(<0.4dB),偏振相关损耗(<0.1dB)等关键性能参量.
- 邵国成戴旭涵杨昊宇赵小林丁桂甫
- 关键词:可调光衰减器闭环线性度
- 平面线圈型MEMS微电磁驱动器的理论分析与实验研究
- 本文介绍了一种平面线圈型电磁驱动的MEMS微驱动器,基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,比较了考虑磁动势的分布效应和传统的集总处理两种方法所建立的平面线圈微驱动器的非线性磁路模型.实验结...
- 杨昊宇赵小林戴旭涵邵国成丁桂甫
- 关键词:微机电系统继电器电磁驱动非线性磁路平面线圈
- 文献传递
- 新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究
- 本文论述了新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究。
与传统的微驱动器相比,微电磁驱动器具有体积小、重量轻、加工工艺稳定以及成本低等优点。MEMS微电磁驱动器有着巨大的市场潜力和广阔的应用前景。
设计了一...
- 杨昊宇
- 关键词:微机电系统双稳态聚酰亚胺
- 文献传递
- 平面线圈型MEMS微电磁驱动器的理论分析与实验研究被引量:10
- 2006年
- 介绍了一种平面线圈型电磁驱动的MEMS微驱动器,基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,比较了考虑磁动势的分布效应和传统的集总处理两种方法所建立的平面线圈微驱动器的非线性磁路模型.实验结果表明考虑线圈绕组半径不同而产生的分布效应可以为平面线圈型微驱动器建立可靠的模型,便于定量分析微驱动器结构物理参数对于磁通分布和电磁力的影响,从而为进一步优化设计该微电磁驱动器提供了理论分析依据.
- 杨昊宇赵小林戴旭涵邵国成丁桂甫
- 关键词:继电器电磁驱动非线性磁路