徐臻圆
- 作品数：5 被引量：1H指数：1
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：天津市应用基础与前沿技术研究计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 用于反射差分光谱测量的紧凑式全光谱光学测头装置
- 本发明公开了一种用于反射差分光谱测量的紧凑式全光谱光学测头装置，包括入射光纤、离轴抛物反射镜、起偏器、旋转补偿器、检偏器、第一凹面反射镜、第二凹面反射镜和出射光纤；光源经入射光纤入射，经过离轴抛物反射镜变为平行或汇聚光束...
- 胡春光徐臻圆张一帆谢鹏飞傅星胡小唐
- 文献传递
- 用于真空在线测量的离轴非球面结构反射差分光谱仪设计与实现被引量：1
- 2013年
- 基于旋转补偿器的反射差分光谱（RC—RDS）技术是具有亚单层光学灵敏度的高精度表面表征方法，其全光谱快速测量性能，特别适合在线检测。为满足真空在线测量的应用需求，综合考虑使用空间、工作距离、光束直径、光谱宽度和通光率等限制因素，提出了基于离轴抛物（OAP）反射镜的光学测头设计方案，构建的测试样机实现了有效工作距离大于50cm、光斑直径小于6．5mm和光谱范围涵盖280～825nm等性能。实验研究了超高真空环境Cu（110）样品在退火处理中的RDS，仪器详细记录了信号随温度的演变过程，测量精度优于3×10-4，表明新方案满足真空环境下表面高灵敏光学测试的需求。
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- 有机薄膜制备工艺的光电测试技术研究
- 有机薄膜器件经过多年的快速发展,已开始从实验室走向实际的工业应用,例如有机发光二极管和有机太阳能电池等。有机薄膜是实现有机薄膜器件功能的核心结构,除有机分子本身的光电特性外,薄膜的结构、界面特性显著影响着器件的性能,而薄...
- 徐臻圆
- 关键词：光电特性
- 文献传递
- 基于差分反射光谱的真空环境有机薄膜生长在线监测方法
- 2015年
- 有机薄膜器件是微电子和光电子领域的重点研究方向。薄膜制备过程的在线监测作为研究成膜机理和优化工艺参数最直接的测量手段,对薄膜器件的高质量制备具有重要意义。为实现真空环境有机薄膜制备过程的实时在线监测,提出了一种基于差分反射光谱术的高精度测量方法。采用离轴抛物面反射镜、光学平板和光纤等基本光学元器件构建紧凑型光路系统,运用差分算法分析光谱信号,具有较高的测量性能。测试了不同实验环境下光谱信号的波动,得出在控温条件下,系统的长时间测量重复性优于2‰。还研究了并五苯分子通过分子束外延制膜法在Au基底成膜初始阶段的生长过程。通过与膜厚仪和原子力显微镜测试结果比对,光谱信号精确反映出超薄膜在生长中引起的细微光学演变,其测量精度优于亚单分子层。实验结果表明,该差分反射光谱测量系统具有宽光谱（300～820nm）、高稳定性（重复性优于2×10^-3）、高测量精度（亚单分子层）等特点,并有效地抑制了光路装配误差、光学器件缺陷和环境干扰等对光信号的影响,作为一种高精度表面表征方法,适合于薄膜制备过程的实时在线监测。
- 姚姚胡春光徐臻圆张雷傅星胡小唐
- 用于反射差分光谱测量的紧凑式全光谱光学测头装置
- 本发明公开了一种用于反射差分光谱测量的紧凑式全光谱光学测头装置，包括入射光纤、离轴抛物反射镜、起偏器、旋转补偿器、检偏器、第一凹面反射镜、第二凹面反射镜和出射光纤；光源经入射光纤入射，经过离轴抛物反射镜变为平行或汇聚光束...
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- 文献传递
