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丛光伟
作品数:
7
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘祥林
中国科学院半导体研究所
魏鸿源
中国科学院半导体研究所
王占国
中国科学院半导体研究所
魏宏源
中国科学院半导体研究所
范海波
中国科学院半导体研究所
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丛光伟
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不同晶面蓝宝石和氧源对ZnO薄膜生长的影响
被引量:1
2007年
在c面和r面蓝宝石上用氧气和甲醇作为氧源分别沉积了ZnO薄膜.用X射线双晶衍射(DCXRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对ZnO薄膜综合表征.证实了,面蓝宝石的表面能比c面的小,更有利于增原子的迁移,从而实现ZnO的二维生长.发现甲醇作为氧源生长的薄膜晶体质量跟氧气作为氧源的相比有较大提高,这可能源于预反应的减弱和甲醇的表面活化作用.在r面蓝宝石上用甲醇作为氧源生长出了表面平整的ZnO薄膜,其(1012)面的非对称衍射的摇摆曲线半高宽仅0.10.
张攀峰
魏鸿源
范海波
丛光伟
杨少延
朱勤生
刘祥林
关键词:
ZNO
蓝宝石
XRD
SEM
用于电调制光致发光光谱测量的样品架
一种用于电调制光致发光光谱测量的样品架,其特征在于,包括:一绝缘架,该绝缘架为一管状,该绝缘架的一端有一用于固定的法兰,该绝缘架的管壁上开有六个螺孔,与该六个螺孔成90度的方向开有两个观察孔;一载样品杆,该载样品杆概成一...
丛光伟
彭文琴
吴洁君
魏宏源
刘祥林
王占国
文献传递
生长氧化物薄膜的金属有机物化学气相沉积反应室结构
一种生长氧化物薄膜的金属有机物化学气相沉积反应室结构,包括:一上罩机构为一桶状,底部开有一圆孔,侧壁上开有一侧孔;一下罩机构为一管状,该上罩机构、下罩机构固接;一辅气气嘴机构包括:一柱体,下面固接有一喇叭口;一三路喷气气...
丛光伟
刘祥林
董向芸
魏宏源
王占国
文献传递
氮化镓激光器的关键技术研究
刘祥林
谢子燕
陆大成
王晓辉
黎大兵
焦春美
魏鸿源
丛光伟
董向芸
蒋全
李书田
全世界每年需要生长GaN的MOCVD设备约100台。我国大陆每年进口5台,用于GaN蓝绿光发光二极管的生产和研究。如果每台按700万计算,全世界生长GaN的MOCVD设备每年的销售额达到至少7亿元人民币。随着“国家半导体...
关键词:
关键词:
MOCVD
用于电调制光致发光光谱测量的样品架
一种用于电调制光致发光光谱测量的样品架,其特征在于,包括:一绝缘架,该绝缘架为一管状,该绝缘架的一端有一用于固定的法兰,该绝缘架的管壁上开有六个螺孔,与该螺孔成90度的方向开有两个观察孔;一载样品杆,该载样品杆概成一杆状...
丛光伟
彭文琴
吴洁君
魏宏源
刘祥林
王占国
文献传递
不同晶面蓝宝石和氧源对氧化锌薄膜生长的影响
本文在c面和r面蓝宝石上用氧气和甲醇作为氧源分别沉积了ZnO薄膜.用X射线双晶衍射(DCXRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对ZnO薄膜综合表征.证实了r面蓝宝石的表面能比c面的小,更有利于增原子的...
张攀峰
魏鸿源
范海波
丛光伟
杨少延
刘祥林
朱勤生
关键词:
蓝宝石
甲醇
XRD
SEM
氧化锌薄膜
文献传递
ZnO纳米棒阵列和薄膜的生长控制及物性研究
ZnO目前国际宽禁带半导体研究的热点材料之一,由于它具有非常大的激子束缚能(60meV)而被广泛关注,有望在紫外发光二极管和激光二极管等光电子领域获得应用。本论文以研究ZnO生长模式控制、掺杂机理和发光机制为目的,利用自...
丛光伟
关键词:
ZNO纳米棒阵列
发光机制
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