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魏宏源
作品数:
5
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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合作作者
王占国
中国科学院半导体研究所
刘祥林
中国科学院半导体研究所
丛光伟
中国科学院半导体研究所
董向芸
中国科学院半导体研究所
范海波
中国科学院半导体研究所
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作者
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魏宏源
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5篇
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丛光伟
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2篇
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2篇
彭文琴
2篇
焦春美
2篇
张晓沛
2篇
赵凤瑷
2篇
杨少延
2篇
范海波
年份
1篇
2010
1篇
2008
1篇
2007
2篇
2006
共
5
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生长氧化物薄膜的金属有机物化学气相沉积反应室结构
一种生长氧化物薄膜的金属有机物化学气相沉积反应室结构,包括:一上罩机构为一桶状,底部开有一圆孔,侧壁上开有一侧孔;一下罩机构为一管状,该上罩机构、下罩机构固接;一辅气气嘴机构包括:一柱体,下面固接有一喇叭口;一三路喷气气...
丛光伟
刘祥林
董向芸
魏宏源
王占国
文献传递
一种生长氧化锌薄膜的装置及方法
本发明公开了一种生长氧化锌薄膜的装置,包括:衬底基座、三路射流进气喷管、辅气吹嘴、衬底旋转机构和不锈钢外壳。兼顾了氧化锌薄膜P型掺杂适宜采用低生长温度,而结晶质量提高适宜采用高生长温度的特殊要求。将衬底基座设计成双温区,...
杨少延
刘祥林
赵凤瑷
焦春美
董向芸
张晓沛
范海波
魏宏源
张攀峰
王占国
文献传递
一种生长氧化锌薄膜的装置及方法
本发明公开了一种生长氧化锌薄膜的装置,包括:衬底基座、三路射流进气喷管、辅气吹嘴、衬底旋转机构和不锈钢外壳。兼顾了氧化锌薄膜P型掺杂适宜采用低生长温度,而结晶质量提高适宜采用高生长温度的特殊要求。将衬底基座设计成双温区,...
杨少延
刘祥林
赵凤瑷
焦春美
董向芸
张晓沛
范海波
魏宏源
张攀峰
王占国
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用于电调制光致发光光谱测量的样品架
一种用于电调制光致发光光谱测量的样品架,其特征在于,包括:一绝缘架,该绝缘架为一管状,该绝缘架的一端有一用于固定的法兰,该绝缘架的管壁上开有六个螺孔,与该六个螺孔成90度的方向开有两个观察孔;一载样品杆,该载样品杆概成一...
丛光伟
彭文琴
吴洁君
魏宏源
刘祥林
王占国
文献传递
用于电调制光致发光光谱测量的样品架
一种用于电调制光致发光光谱测量的样品架,其特征在于,包括:一绝缘架,该绝缘架为一管状,该绝缘架的一端有一用于固定的法兰,该绝缘架的管壁上开有六个螺孔,与该螺孔成90度的方向开有两个观察孔;一载样品杆,该载样品杆概成一杆状...
丛光伟
彭文琴
吴洁君
魏宏源
刘祥林
王占国
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