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蒋艳莉
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1
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供职机构:
高能束流加工技术国防科技重点实验室
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一般工业技术
金属学及工艺
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合作作者
张华芳
高能束流加工技术国防科技重点实...
彭丽平
高能束流加工技术国防科技重点实...
马国佳
高能束流加工技术国防科技重点实...
武洪臣
高能束流加工技术国防科技重点实...
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张华芳
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2004年高...
年份
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2004
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纳米复合膜的制备、发展与应用
电子束物理气相沉积是采用电子枪发射电子,然后用电子轰击加热要沉积的靶材,使其蒸发沉积到工件上。该方法具有沉积速率高,制备的薄膜不易脱落的优点,适用于工业化大规模生产,特别是制备的纳米级多层膜具有较好的耐热性能。本文主要叙...
马国佳
张华芳
武洪臣
彭丽平
蒋艳莉
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纳米复合膜
纳米材料
电子束物理气相沉积
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