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蒋艳莉

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:高能束流加工技术国防科技重点实验室更多>>
相关领域:一般工业技术金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电子束物理气...
  • 1篇气相沉积
  • 1篇物理气相沉积
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米材料
  • 1篇纳米复合膜
  • 1篇复合膜

机构

  • 1篇高能束流加工...

作者

  • 1篇武洪臣
  • 1篇马国佳
  • 1篇蒋艳莉
  • 1篇彭丽平
  • 1篇张华芳

传媒

  • 1篇2004年高...

年份

  • 1篇2004
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
纳米复合膜的制备、发展与应用
电子束物理气相沉积是采用电子枪发射电子,然后用电子轰击加热要沉积的靶材,使其蒸发沉积到工件上。该方法具有沉积速率高,制备的薄膜不易脱落的优点,适用于工业化大规模生产,特别是制备的纳米级多层膜具有较好的耐热性能。本文主要叙...
马国佳张华芳武洪臣彭丽平蒋艳莉
关键词:纳米复合膜纳米材料电子束物理气相沉积
文献传递
共1页<1>
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