马国佳
- 作品数：91 被引量：149H指数：6
- 供职机构：北京航空制造工程研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防科技重点实验室基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺理学化学工程更多>>
- 飞秒激光诱导钛合金表面形貌变化的规律被引量：4
- 2016年
- 研究了飞秒激光诱导的钛合金表面微纳结构随激光能量密度和脉冲个数的变化规律,并给出了微纳结构的扫描电子显微镜图。研究结果表明,钛合金表面微纳结构的演化主要经过4个阶段,依次为无激光诱导周期表面结构阶段、经典条纹结构阶段、经典与非经典条纹结构并存阶段和微驼峰结构阶段。进一步的研究表明,非经典条纹的周期随着激光能量密度或脉冲个数的增加而增加。
- 周树清马国佳王春华张伟
- 关键词：激光技术表面形貌飞秒激光钛合金
- 在金属零件表面制备高附着力Ta/TaN叠层薄膜的方法
- 本发明属于金属零件表面处理技术，涉及对金属零件表面Ta/TaN叠层薄膜制备方法的改进。其特征在于，利用交替离子注入及沉积方法制备Ta/TaN叠层薄膜，制备的步骤如下：对零件表面进行清洗；制备过渡层；沉积TaN；在TaN层...
- 马国佳孙刚马贺刘星王剑锋武洪臣
- 气压及偏压对磁控溅射TaN薄膜力学性能影响被引量：10
- 2013年
- 采用电子回旋共振增强磁控溅射在不锈钢基体上制备六方相TaN薄膜,并研究了气压及偏压对TaN薄膜结构、力学性能的影响。利用X射线衍射、扫描电镜、原子力显微镜分析薄膜化学结构及形貌,利用纳米压痕、划痕实验仪对薄膜力学性能进行测定。研究表明,制备气压上升影响六方TaN相择优取向,气压、Ar/N2流量比及偏压改变对TaN薄膜力学性能有较大影响。实验证明在1.1×10-1Pa,偏压100V下制备的TaN薄膜具有最高硬度32.4 GPa,最高结合力极限载荷27 N。
- 刘星马国佳孙刚段玉平刘顺华
- 关键词：反应磁控溅射气压偏压力学性能
- TaN单层及Ta/TaN不同调制周期多层薄膜力学性能研究(英文)被引量：2
- 2013年
- 单层TaN薄膜及由柔性Ta及硬TaN层组成的多层Ta/TaN薄膜通过ECR增强直流磁控溅射在不锈钢基体上制备,所有的TaN及Ta/TaN薄膜均制备200 min。薄膜厚度及薄膜的截面形貌通过扫描电镜观测,化学结构通过XRD测试,硬度,模量,塑性及结合力分别通过纳米压痕及划痕实验进行测定。结果表明,TaN择优取向为六方(110),(300),Ta层为(110),(300)。单层TaN展现最高硬度,接近40GPa,但结合力较低。5周期的多层薄膜呈现了较高的硬度,最好的塑性及结合力。证明合适的调制周期及层数可以有效地提高薄膜的力学性能,包括硬度,塑性及结合力。
- 刘星马国佳张林孙刚段玉平刘顺华
- 关键词：调制周期力学性能
- 氧含量对离子注入及沉积TaN薄膜力学性能的影响(英文)
- 2013年
- 采用浸没式离子注入及沉积方法制备了3组不同的TaN薄膜,研究了制备过程中氧含量对薄膜性能的影响。研究表明,O含量对TaN薄膜的结构和力学性能有较大的影响。制备过程中进入薄膜及基体的O原子将与Ta结合生成Ta2O5,降低Ta2N薄膜中各相的择优取向性。随着氧含量的提高,晶粒逐渐趋向不规则生长而导致非晶相的形成。薄膜中氧含量的增加会导致薄膜表面结构变得更加不规则并引起表面缺陷的形成,从而使表面粗糙度变大。这些变化会导致薄膜结合强度和摩擦学性能下降。
- 孙刚马国佳刘星武洪臣巩水利
- 一种基于模具基体工作表面的防护涂层的制备方法
- 本发明提供了一种基于模具基体工作表面的防护涂层的制备方法。该方法包括：1)在模具基体的工作表面喷涂第一涂料以形成硬质耐磨涂层；2)在硬质耐磨涂层的表面制备向内凹陷的微结构；3)在硬质涂层的表面喷涂第二涂料以形成润滑涂层，...
- 刘星马国佳孙刚张伟
- 文献传递
- 低温直流磁控溅射制备金红石相TiO_2的研究(英文)被引量：1
- 2013年
- 利用直流磁控溅射方法在硅片和钛合金基底上沉积制备了二氧化钛薄膜。主要研究了变化的基片偏压对薄膜性能的影响。用XRD和SEM分析了薄膜的晶体结构和表面形貌,利用纳米压痕仪,划痕仪,摩擦试验机分别测试了薄膜的纳米硬度,膜基界面结合力和摩擦性能。结果表明,本方法在不加热基片的条件下制备出表面光滑致密,力学性能和摩擦学性能良好的金红石相TiO2薄膜。
- 王明娥马国佳孙刚刘星张林巩水利董闯
- 关键词：TIO2薄膜直流磁控溅射晶化
- 等离子体在零件表面强化与改性中的应用
- 2004年
- 离子注入与沉积技术在诸多领域有着广泛的应用。文章主要介绍微波ECR与MEVVA等离子体源及其相关设备的工艺特点 ,同时也介绍了它们在材料表面改性等方面的一些实际应用情况。
- 彭丽平马国佳张华芳蒋艳莉武洪臣
- 关键词：表面强化工艺改性技术磁感应强度
- 化学气相沉积反应的装置
- 本发明公开了一种化学气相沉积反应的装置，包括：上端盖，其上开设有进料口和出气口；反应管，其内设有微孔分布板，微孔分布板上开设有多个穿孔，反应管通过微孔分布板分为上部流化床反应室及下部固定床均化室，反应管的固定床均化室的外...
- 崔向中傅旭马江宁马国佳巩水利孙梅孙刚
- 文献传递
- Ti元素掺杂对TaN硬质薄膜结构及力学性能的影响
- Ta N薄膜较高的硬度(20-35GPa)和耐腐蚀性能,但是Ta N薄膜与衬底间的结合强度较低,薄膜结构稳定性不足,影响其使用性能。通过金属元素的掺杂,Ta N可以形成具有Na Cl立方结构的固溶三元氮化物,成为更为稳定...
- 孙刚刘星马国佳
- 关键词：力学性能
- 文献传递
