罗志强
- 作品数：4 被引量：21H指数：2
- 供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺电气工程更多>>
- 硅薄膜的热丝法淀积被引量：15
- 1999年
- 系统地研究了热丝化学气相沉积技术中沉积气压、气体流量、钨丝温度、衬底温度对硅薄膜的结构、生长速率和光电性能的影响。通过优化各工艺参数。
- 罗志强吴瑞华刘莉王世昌刘嘉禾
- 关键词：热丝法非晶硅薄膜多晶硅薄膜PECVD
- 掺锌(100)GaSb单晶的生长被引量：4
- 2001年
- 采用LEC方法研制出掺锌 (10 0 )GaSb单晶 ;用霍尔测量法算出的锌掺杂浓度计算得出锌的有效分凝系数keff约为 0 84± 0 0 1,沿晶体生长方向随着锌浓度的提高 ,位错密度缓慢增加 ,数值约为 (2～ 3.2 )× 10 3cm-2 ,当掺锌浓度大于 3× 10 19cm-3 以后 ,GaSb发生简并 ,载流子浓度随掺锌浓度的增加缓慢提高。采用重掺锌母合金作掺杂剂 ,可减少锌的损失 。
- 黎建明屠海令郑安生邓志杰罗志强
- 关键词：位错密度简并掺杂锑化镓晶体生长
- 热钯丝在硅烷气氛下的奇异行为及其解释被引量：2
- 1998年
- 报道了热钯丝在低压硅烷气氛下的奇异行为，并给出了初步的解释。揭示了常规热丝法薄膜淀积工艺中热钨丝易断裂的原因。
- 吴瑞华罗志强
- 热丝法淀积硅薄膜的研究
- 非晶硅太阳电池普遍采用PECVD(等离子体增强CVD)法制备各层非晶硅薄膜,由于PECVD法制备出的非晶硅薄膜存在较严重的光致衰退性,严重地制约了它的推广应用.为解决非晶硅薄膜的光致衰退性,作者进行了用一种新的薄膜制备方...
- 罗志强
- 关键词：热丝法非晶硅薄膜多晶硅薄膜太阳电池
