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丛培沛
作品数:
8
被引量:0
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
闫建昌
中国科学院半导体研究所
王军喜
中国科学院半导体研究所
李晋闽
中国科学院半导体研究所
董鹏
中国科学院半导体研究所
孙莉莉
中国科学院半导体研究所
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中国科学院
作者
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李晋闽
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紫外共振腔发光二极管
本发明公开了一种能够发射具有峰状轮廓并具有中心波长(λ)的辐射的共振腔紫外发光二极管(RC-UVLED)装置,该装置包括:一种共振腔紫外发光二极管装置,其包括:第一腔,其用于传输共振腔紫外发光二极管装置的量子阱有源区向上...
曾建平
闫建昌
王军喜
丛培沛
孙莉莉
董鹏
李晋闽
文献传递
一种具有DBR高反射结构的紫外发光二极管及其制备方法
本发明公开了一种AlGaN基DBR高反射紫外发光二极管及制作方法。该紫外发光二极管依次包括:衬底、AlN成核层、n型AlGaN势垒层、有源区、p型AlGaN势垒层和p型GaN冒层;其中,所述p型AlGaN势垒层上制作有D...
曾建平
闫建昌
王军喜
丛培沛
孙莉莉
董鹏
李晋闽
文献传递
一种具有高反射薄膜的紫外发光二极管及其制作方法
本发明公开了一种具有高反射薄膜结构的AlGaN基紫外发光二极管器件及制作方法,其涉及微电子技术领域,主要解决紫外发光二极管背面出光结构中出光效率低的问题。该器件依次包括:衬底、AlN成核层、n型AlGaN势垒层、有源区、...
曾建平
闫建昌
王军喜
丛培沛
孙莉莉
董鹏
李晋闽
文献传递
蓝宝石衬底上AlN的MOCVD外延生长
研究了通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术生长的AIN外延层。通过改变生长室压强,发现降低压强对提高AIN外延效率有显著的效果,因而采用了50torr的低压生长。通过对蓝宝石衬底的不同时间的氮化研究,发现7分钟的氮...
闫建昌
王军喜
丛培沛
刘乃鑫
刘喆
李晋闽
关键词:
氮化
HRXRD
文献传递
纳米图形蓝宝石衬底上MOCVD外延生长AlN
AlGaN基的深紫外LED在消毒杀菌、生物医学、保密通信、紫外固化等领域具有广泛的应用前景。高质量、低位错密度的AlN模板是实现深紫外LED高效率发光的重要基础。为了降低A1N模板的位错密度,有研究组在微米级(2~5μm...
董鹏
闫建昌
吴奎
曾建平
丛培沛
孙莉莉
蓝鼎
王军喜
李晋闽
氮化物半导体发光二极管外延片、器件及其制备方法
本发明提供了一种氮化物半导体发光二极管外延片、器件及其制备方法。该氮化物发光二极管外延片包括:衬底;以及依次沉积于衬底上的氮化物材料的模板层、n型层、量子阱有源区、载流子阻挡层和p型层;其中,p型层中掺杂元素至少包括Mg...
闫建昌
王军喜
张韵
丛培沛
孙莉莉
董鹏
田迎冬
李晋闽
文献传递
具有反射欧姆接触电极的紫外发光二极管的基片
一种具有反射欧姆接触电极的紫外发光二极管的基片,包括:一衬底;一AlN模板层,其生长在衬底上;一N型AlGaN层,其生长在AlN模板层上;一多量子阱的有源区,其生长在N型AlGaN层上;一电子阻挡层,其生长在多量子阱的有...
董鹏
闫建昌
王军喜
孙莉莉
曾建平
丛培沛
李晋闽
文献传递
一种具有DBR高反射结构的紫外发光二极管及其制备方法
本发明公开了一种AlGaN基DBR高反射紫外发光二极管及制作方法。该紫外发光二极管依次包括:衬底、AlN成核层、n型AlGaN势垒层、有源区、p型AlGaN势垒层和p型GaN冒层;其中,所述p型AlGaN势垒层上制作有D...
曾建平
闫建昌
王军喜
丛培沛
孙莉莉
董鹏
李晋闽
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