2025年1月10日
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闫建昌
作品数:
136
被引量:135
H指数:7
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
深圳市科技计划项目
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
理学
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合作作者
王军喜
半导体照明联合创新国家重点实验...
李晋闽
半导体照明联合创新国家重点实验...
魏同波
中国科学院半导体研究所
郭亚楠
中国科学院半导体研究所
孙莉莉
中国科学院半导体研究所
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作者
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2010
1篇
2007
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一种具有紫外杀菌消毒功能的水表
本发明提出了一种具有紫外杀菌消毒功能的水表,包括计量装置、感应装置和发光装置,其中,通过在计量装置中水表本体上设置一个透明窗口,正对该透明窗口固定一个发光装置的紫外光源,紫外光源能够产生紫外光线并透过透明窗口对流经水表本...
闫建昌
谢海忠
王军喜
魏学成
孙莉莉
张韵
李晋闽
文献传递
具有p型极化掺杂的III族氮化物光电子器件
一种III族氮化物的p型层的极化掺杂结构,其特征在于,所述p型层通过组分渐变引入的极化诱导产生一定浓度的空穴;所述p型层中含有p型掺杂剂,且所述p型掺杂剂浓度在所述p型层内呈调制分布。本发明通过Mg受主的调制掺杂,降低外...
郭亚楠
闫建昌
刘志彬
王军喜
李晋闽
文献传递
基于非晶衬底生长氮化物的方法及结构
一种基于非晶衬底生长氮化物的方法及结构,该方法包括以下步骤:在非晶组合衬底上沉积薄层二氧化硅,通过纳米压印的方式在非晶组合衬底上制备出二氧化硅阵列孔,对非晶衬底上的二氧化硅进行过腐蚀,将阵列孔底部的二氧化硅腐蚀掉,露出衬...
梁冬冬
魏同波
闫建昌
王军喜
文献传递
紫外发光二极管器件的制备方法
本发明提供了一种紫外发光二极管器件的制备方法。该紫外发光二极管器件的制备方法通过AlGaN电子阻挡层205和p型AlGaN层206的总厚度小于该电极层最底层金属层的金属材料的等离激元耦合距离的方式有效精确控制有源区到金属...
张韵
孙莉莉
闫建昌
王军喜
李晋闽
文献传递
AlGaN/GaN紫外发光分离限制异质结构的MOCVD外延
本文采用LP-MOVPE两步法,以无裂纹AIN作为模板,NH3、TMG、TMA作为源气,设计生长了Al组分为0.16和0.26的两个AlGaN单层和GaN单层,AFM、HRXRD、透射谱等表征测试的结果均表明。外延层结晶...
曾建平
闫建昌
丛培沛
王军喜
李晋闽
关键词:
ALGAN
LP-MOCVD
光致发光
电致发光
氮化镓激光器腔面的制作方法
本发明公开了一种氮化镓激光器腔面的制作方法,包括:在衬底上外延生长氮化镓激光器结构,得到外延片,氮化镓激光器结构从衬底一侧依次包括n型欧姆接触层、n型限制层、n型波导层、量子阱、电子阻挡层、p型波导层、p型限制层、p型欧...
田迎冬
董鹏
张韵
闫建昌
孙莉莉
王军喜
李晋闽
文献传递
一种AlN薄膜的制备方法
本发明提供一种AlN薄膜的制备方法,包括以下步骤:提供一衬底;在所述衬底上溅射沉积一层底层AlN薄膜层,得到一初始薄膜;多次对所述初始薄膜进行热处理制层处理,在所述初始薄膜上形成多层次层AlN薄膜层,直至所述衬底上的Al...
蔡听松
郭亚楠
刘志彬
闫建昌
王军喜
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一种增强LED出光效率的粗化方法
本发明公开了一种增强LED出光效率的粗化方法,用于对LED的ITO层、P型层、N型层或衬底背面进行纳米级粗化,以提高LED的出光效率,该方法包括:步骤1:在需要粗化的薄膜上旋涂光刻胶;步骤2:用氧等离子体刻蚀该光刻胶,在...
孙莉莉
闫建昌
王军喜
刘乃鑫
魏同波
魏学成
马平
刘喆
曾一平
王国宏
李晋闽
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一种具有极化诱导掺杂高阻层的GaN基HEMT结构及生长方法
本发明公开了一种GaN基HEMT外延结构及其生长方法,该外延结构沿外延生长方向依次包括:衬底、缓冲层、高阻层、沟道层和势垒层,其中:缓冲层外延生长在衬底上;高阻层外延生长在缓冲层上,其中,高阻层为极化诱导掺杂;沟道层外延...
张连
张韵
闫建昌
王军喜
李晋闽
文献传递
一种对Ⅲ-Ⅴ氮化物进行n型和p型掺杂的方法
本发明公开了一种对III-V氮化物进行n型和p型掺杂的方法,在蓝宝石、SiC、GaN等衬底上外延生长的n型和p型III-V族氮化物,使用SiH<Sub>4</Sub>和/或Cp<Sub>2</Sub>Mg作为掺杂剂,使用...
纪攀峰
李京波
闫建昌
刘乃鑫
刘喆
王军喜
李晋闽
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