林立
- 作品数:5 被引量:11H指数:2
- 供职机构:华北光电技术研究所更多>>
- 相关领域:电子电信更多>>
- 正/负双层光刻胶厚膜剥离技术被引量:5
- 2006年
- 首次介绍一种正/负双层光刻胶厚膜剥离技术,采用在厚层正型光刻胶上涂薄层负型光刻胶的方法,在光刻胶的边缘形成顶层外悬的屋檐式结构,实现了10μm蒸发膜层的无高沿边缘剥离。对不同的剥离膜厚,选取合适的胶厚,可控制剥离膜的横向尺寸精度。10μm厚蒸发膜层的横向尺寸差可控制在5μm内。
- 林立韦书领杨春莉刘理天程绍椿
- 关键词:光刻
- 金属结构红外探测器振动噪声的研究被引量:3
- 2006年
- 为使红外探测器在振动干扰的环境下仍具有足够高的探测率,必须降低其因振动而产生的噪声幅度。控制探测器振动噪声的主要手段之一是控制其机械振动幅度,尤其是共振振幅。采用锤击法,利用冲击激励的宽频特性,研究了金属结构红外探测器的共振特性及影响振动噪声的力学因素。通过改变探测器结构的动力学特性,探寻了减振降噪的几种途径。实验结果表明,探测器悬臂冷指的结构参数对探测器的振动特性起主要作用。在冷指自由端与壳体间填胶做支撑、或冷指固定端与壳体间用胶粘隔振的减振降噪效果最好,可使振动噪声降至原值的1/20。
- 林立王志敏刘理天程绍椿刘建伟曾燕萍
- 关键词:振动噪声锤击法
- 光伏锑化铟红外探测器的电容效应被引量:1
- 2002年
- 在调制信号下工作的光伏锑化铟红外探测器的探测率和响应率受探测器的交流特性的影响 。
- 林立
- 关键词:红外探测器电容效应探测率
- HgCdTe分子束外延薄膜的研制
- 1995年
- 本文概要报导我们HgCdTeMBE上作的最近进展。一批面积2.0-16.6cm2,组份x0.188-0.30,载流子浓度7.81×1014~1.0×1016cm-3,迁移率1.0×104~1.45×105cm2v-1.s-1和x射线双晶衍射半峰宽(FWHM)64~100arcsec的N型原生HgCdTe外延膜已经得到,某些参数已接近或达到国外报导的典型值,并在国内首先研制了直径为50mm的HgCdTe外延膜。为了评价材料的特性,用一块X=0.243的外延膜经适当热处理后研制了光伏探测器试验阵列,其最好的一元探测率Dλ*=2.44×1010cmHz1/2W-1(λc=7.9μm)。
- 陈世达林立何先忠应明炯吴人齐
- 关键词:分子束外延HGCDTE
- 分子束外延CdTe(211)B/GaAs(211)B的特性研究被引量:2
- 1995年
- CdTe/GaAs是HgCdTe分子束外延的重要替代衬底材料。用X双晶衍射和光致发光测试研究了分子束外延生长的CdTe(211)B/GaAs(211)B的晶体结构质量,表明外延膜晶体结构完整,具有很高的质量。用高分辨率的透射电镜研究其界面特性,观察到CdTe(211)B相对于GaAs(211)B向着[111]方向倾斜一个小角度(约3°),界面的四面体键网发生扭曲,由于晶格失配,在界面存在很高的失配位错密度。用二次离子质谱分析仪分析了GaAs衬底中的Ga和As向CdTe外扩散的情况。结果表明:如果要在GaAs衬底上生长HgCdTe外延膜,必须先生长一层具有一定厚度的CdTe来阻止Ga和As向HgCdTe的外扩散和失配位错的延伸。
- 陈世达林立何先忠
- 关键词:碲化镉砷化镓双晶衍射透射电镜