陈华仙
- 作品数：25 被引量：214H指数：7
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 发文基金：上海市教育委员会重点学科基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学电子电信更多>>
- 二氧化钛光催化薄膜的研究与应用-纳米二氧化钛光催化自清洁玻璃
- 章壮健杨锡良陈华仙沈杰张永熙董昊
- 我们分析了当时国内外纳米二氧化钛光催化材料研究动态及本实验室的条件，决定“二氧化钛光催化薄膜的研究和应用”主要研究方向为反应磁控溅射法制备自清洁玻璃。而高质量的自清洁玻璃必须具备：优良的分解有机物质本领及超亲水性能，还应...
- 关键词：
- 高价态差掺杂氧化物透明导电薄膜的研究被引量：34
- 2001年
- 在实用的透明导电氧化物 (TCO)薄膜中 ,载流子迁移率主要是受电子与掺杂离子之间散射的限制。如果掺杂离子与氧化物中被替代离子的化合价相差较大 ,每个掺杂离子可以提供较多的自由载流子 ,则使用较少的掺杂量就可以获得足够多的自由载流子 ,而且可以获得较高的载流子迁移率和减少薄膜对可见光的吸收 ,是提高 TCO薄膜性能的一条捷径。采用反应蒸发法制备的掺钼氧化铟(In2 O3:Mo,简称 IMO)薄膜中 ,Mo6 +与 In3+的化合价态相差 3,远大于广泛研究和应用的 TCO薄膜材料 In2 O3:Sn、Sn O2 :F和 Zn O:Al中的价态差。IMO薄膜的电阻率可以低至 1.7× 10 - 4 Ω· cm,对 4μm以上波长红外线的反射率和可见光区域的平均透射率 (含 1.2 mm厚玻璃基底 )都高于 80 % ;载流子迁移率高达 80～ 130cm2 V- 1 s- 1 ,远超过其它掺杂 TCO薄膜 ;但是自由载流子浓度只有 2 .5× 10 2 0～ 3.5× 10 2 0 cm- 3。
- 孟扬杨锡良陈华仙沈杰蒋益明章壮健
- 关键词：透明导电薄膜
- 臭氧在热反应蒸发法低温制备透明导电薄膜IMO中的作用被引量：2
- 2001年
- 虽然采用常规的热反应蒸发法就可以在约 35 0℃的玻璃基底上制备出性能优良的In2 O3∶Mo(IMO)薄膜 ,但是随着基底温度的降低 ,IMO薄膜的电导率和可见光透射比都迅速减小。通过高频放电在反应气体中加入O3 后 ,可以在室温下将In充分氧化成In2 O3,极大地改善了IMO薄膜的透明性。而且 ,IMO薄膜的结晶程度也得到了小幅度提高 ,这有利于提高薄膜电导率。在不加热基底的情况下 (约 30℃ ) ,制备的约 40 0nm厚的IMO薄膜的电阻率小于 5× 10 - 2 Ω·cm ;在基底温度为10 0℃时电阻率可以小于 2× 10 - 3 Ω·cm ;同时它们在可见光区域的总平均透射比 (含 1 2mm厚载玻片基底 )都超过 0 8。
- 孟扬杨锡良陈华仙沈杰蒋益明章壮健华中一
- 关键词：透明导电薄膜臭氧透射比
- 溶胶-凝胶法制备二氧化钛薄膜的亲水性研究被引量：68
- 2000年
- 对采用溶胶 凝胶法制备的TiO2 薄膜的亲水性进行了研究 ,讨论了退火时间和薄膜厚度对亲水性的影响 ,对亲水的机理进行了初步讨论 ,并讨论了通过测量薄膜表面水滴的直径来计算接触角的方法 ,与照相方法测得的接触角进行了比较 ,两者完全符合。
- 沈杰董昊张永熙杨锡良陈华仙顾元壮章壮健
- 关键词：溶胶-凝胶法亲水性接触角二氧化钛薄膜
- 溶胶凝胶法制备低介电常数掺氟二氧化硅薄膜
- 随着超大规模集成电路器件的集成密度的提高,多层金属化技术变得愈加重要.逻辑器件的中间介质层将增加到四至五层,导线间的阻抗和寄生电容产生的RC延迟将会限制器件的高速性能.而最有效的减低寄生电容的方法是降低中间介质层的介电常...
- 沈杰陈佾徐伟杨锡良陈华仙章壮健
- 关键词：溶胶凝胶法低介电常数二氧化硅薄膜
- 文献传递
- 沉积速率及相关工艺条件对直流反应磁控溅射制备TiO_2薄膜性质的影响被引量：26
- 2000年
- 在玻璃基板上用直流反应磁控溅射钛靶的方法制备TiO2 薄膜。在溅射总气压为 0 4Pa ,氧氩比分别为 1∶9,1∶5及 1∶3 2的情况下 ,调节溅射功率使沉积速率由 0 99nm/min变化到 12 12nm/min ,而且当基板温度为 34 0℃时 ,薄膜在可见光范围内的平均折射率基本不变 ,为 2 48± 0 0 3,而薄膜的表面形貌却有明显变化。XRD表明 ,在pO2 /pAr为 1∶9的条件下 ,薄膜中出现了TiOx(x <2 )的晶粒 ,但这对薄膜的光学性质并无影响。另外对TiO2
- 张永熙沈杰杨锡良陈华仙陆明严学俭章壮健
- 关键词：二氧化钛薄膜反应磁控溅射光学薄膜
- 新型透明导电薄膜In2O3:Mo
- 本文在不进行退火、放电等工艺处理的情况下,用常规的反应蒸发法在约350℃的1.2nm厚载玻片上制备的IM0薄膜的可见光区域平均透射率(含玻璃基底)可超过80﹪,同时电阻率可以低至1.7x10-4Ωcm。
- 孟扬杨锡良陈华仙沈杰蒋益明章壮健华中一
- 关键词：导电薄膜电导率透射率
- 一种自清洁玻璃
- 本实用新型涉及一种具有自清洁功能的玻璃。它以普通玻璃为基板,其上由磁控溅射法镀有二氧化钛膜层。本自清洁玻璃具有良好的亲水性能和分解有机物的能力,因而具有很强的自清洁功能,使用寿命可长达10年以上。该玻璃可以广泛用作房屋建...
- 杨锡良章壮健沈杰陈华仙张永熙董昊
- 文献传递
- ZnO∶Al透明导电薄膜的研制被引量：23
- 1998年
- 介绍用直流平面磁控溅射方法制备掺铝的氧化锌透明导电薄膜并研究了其特性，阐述了金属氧化物透明导电薄膜研究的发展情况及其应用前景，并讨论了氧化锌掺铝薄膜的优点。介绍了ZnO∶Al薄膜的制备情况：靶的制备及薄膜的制备过程。测量了薄膜的光电特性，包括透射比、折射率、消光系数、方块电阻、电阻率、载流子浓度和迁移率等参数，并分析了各种实验条件对薄膜性能的影响。
- 应春沈杰陈华仙杨锡良章壮健
- 关键词：氧化锌反应磁控溅射导电
- 介质薄膜的透射光谱测量及其光学参数的分析被引量：23
- 1997年
- 介绍介质薄膜透射光谱的测量以及基于分析薄膜透射光谱的计算薄膜光学参数的方法。对制备在玻璃基板上的二氧化钛、二氧化硅和氧化锌薄膜进行了可见光谱区的透射比测量，并用包络线方法和最优化方法对这些透明薄膜的光学参数进行了计算和分析。着重讨论了最优化方法在分析薄膜光学参数中的应用及其误差分析。此外，还对包络线方法和最优化方法进行了比较。
- 唐沪军沈杰陈华仙杨锡良顾元壮章壮健
- 关键词：介质薄膜透射光谱光学参数
