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胡敏达

作品数：4 被引量：9H指数：2
供职机构：西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光电检测重点实验室更多>>
相关领域：金属学及工艺化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇金属学及工艺
  • 1篇化学工程

主题

  • 4篇等离子体加工
  • 4篇光学
  • 3篇光学元件
  • 3篇超光滑
  • 3篇超光滑表面
  • 2篇等离子
  • 2篇等离子体
  • 2篇等离子体源
  • 1篇电容耦合
  • 1篇电容耦合放电
  • 1篇电子温度
  • 1篇去除速率
  • 1篇离子密度
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇光学表面
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇粗糙度

机构

  • 4篇西安工业大学

作者

  • 4篇胡敏达
  • 3篇杭凌侠
  • 2篇徐均琪
  • 1篇刘卫国
  • 1篇梁海峰
  • 1篇刘卫国
  • 1篇梁海峰
  • 1篇王颖男

传媒

  • 1篇表面技术
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇中国真空学会...

年份

  • 1篇2008
  • 3篇2007
共 4 条 记 录，以下是 1-4
全选 清除 导出
排序方式：
等离子体加工光学表面技术探索
随着现代科学技术的发展，在许多领域中提出了超光滑表面的要求，尤其是光学材料广泛应用的现代短波光学、强光光学系统和光记录器件等尖端科技领域。这种表面不仅要求表面粗糙度低，而且对表面损伤程度也有严格的要求。各国的科学家做了大...
胡敏达
关键词：等离子体加工光学表面离子密度电子温度
文献传递
等离子体加工光学元件装置技术研究被引量：4
2007年
介绍了一种新型的超光滑表面加工技术-等离子体抛光.设计和安装了一套等离子体加工试验平台.加工试验平台由真空系统、等离子体源、射频电源系统、气路系统组成.试验平台具有独立变量:气体流量、真空度、射频电源发射功率和反射功率和加工时间.对于石英玻璃材料的实验结果表明等离子体抛光是一种可行的有潜力的抛光技术.
胡敏达杭凌侠刘卫国徐均琪梁海峰
关键词：超光滑表面等离子体源
等离子体加工光学元件工艺研究被引量：6
2008年
为了得到超光滑表面且无表层损伤的光学元件,引入一种新型的超光滑表面加工技术——等离子体抛光。介绍了有关等离子体刻蚀的研究进展以及去除机理,在已经设计好的实验平台上进行等离子体加工工艺实验,对影响去除效果的参数进行了实验研究,最后进行工艺参数优化。结果表明此技术能够应用于对光学元件的加工。
王颖男杭凌侠胡敏达
关键词：超光滑表面电容耦合放电表面粗糙度去除速率
等离子体加工光学元件装置技术研究
介绍了一种新型的超光滑表面加工技术一等离子体抛光。设计和安装了一套等离子体加工试验平台。加工试验平台由真空系统、等离子体源、射频电源系统、气路系统组成。试验平台具有独立变量:气体流量、真空度、射频电源发射功率和反射功率和...
胡敏达杭凌侠刘卫国徐均琪梁海峰
关键词：超光滑表面等离子体源
文献传递
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