陈泳生
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：河南省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程更多>>
- 多孔硅中氧、碳、氮行为的研究
- 本文用化学腐蚀法在多晶硅片上制作多孔硅,通过不同的热处理过程,对多孔硅的表面微结构的SEM测量,分析了其表面结构特点.通过SEM、X-EDS、Raman及XPS研究了氧在多孔硅层中的主要热行为.论述了在多孔硅用于太阳能电...
- 王海燕段启亮卢景霄孙晓峰陈泳生冯团辉李瑞
- 关键词：氧沉淀多孔硅太阳能电池
- 文献传递
- N^+注入ZnO薄膜表面性质的变化被引量：1
- 2005年
- 用直流反应磁控溅射法制备ZnO薄膜,将N+注入ZnO薄膜经快速热退火(RTA)后,通过XRD,AFM,UV-VIS-NIR分光光度计等比较了N+注入后ZnO薄膜的电阻率、导电类型、表面形貌和可见光透过率等的变化。经不同条件处理后的ZnO薄膜均具有相同的择优取向(002)。经RTA后颗粒普遍增大;N+注入后经RTA颗粒增大明显,最大有1μm。N+注入后,使ZnO膜的导电类型由原来的n型转变为弱p型。
- 王海燕段启亮陈泳生靳瑞敏杨仕娥卢景霄
- 关键词：无机非金属材料直流反应磁控溅射N^+注入P型掺杂
- 多孔硅中氧、碳、氮行为的研究
- 本文用化学腐蚀法在多晶硅片上制作多孔硅,通过不同的热处理过程,对多孔硅的表面微结构的SEM测量,分析了其表面结构特点。通过SEM、X—EDS、Raman及XPS研究了氧在多孔硅层中的主要热行为。论述了在多孔硅用于太阳能电...
- 王海燕段启亮卢景霄孙晓峰陈泳生冯团辉李瑞
- 关键词：氧沉淀
- 文献传递
