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武唯康
作品数:
15
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供职机构:
北京大学
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国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
黄如
北京大学信息科学技术学院微电子...
安霞
北京大学信息科学技术学院微电子...
谭斐
北京大学信息科学技术学院微电子...
张兴
北京大学信息科学技术学院微电子...
黄良喜
北京大学信息科学技术学院微电子...
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机构
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北京大学
作者
15篇
武唯康
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安霞
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黄如
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谭斐
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张兴
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冯慧
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杨东
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一种抗辐射的CMOS器件及其制备方法
本发明公开了一种抗辐射的CMOS器件及其制备方法,属于CMOS集成电路技术领域。该CMOS器件包括衬底、源区、漏区以及位于衬底上的垂直沟道,在垂直沟道内增加一介质保护区一,该介质保护区一位于垂直沟道中央,将垂直沟道分为两...
黄如
谭斐
安霞
武唯康
黄良喜
文献传递
基于自热修正的SOI NMOSFETs热载流子注入效应寿命预测方法
2014年
自热效应SHE(self-heating effect)是SOI MOSFETs可靠性研究的关键问题之一.在热载流子注入HCI(hot carrier injection)应力下会导致自热效应加剧,低估器件工作寿命,使得寿命预测不准.本文提出了一种基于直流HCI应力下的0.18μmPD-SOINMOSFETs可靠性寿命预测方法.通过栅电阻法提取沟道中因自热效应产生的温度,采用自热修正后的衬底电流/漏电流比率模型预测PD-SOI NMOSFETs在正常工作电压下的寿命值,预测结果与未消除自热影响预测出的寿命值存在较大差异,说明自热修正在寿命预测中不可忽略,否则会低估器件的工作寿命.
冯慧
安霞
杨东
谭斐
黄良喜
武唯康
张兴
黄如
关键词:
自热效应
热载流子注入效应
热电阻
SOI
一种抗辐射的CMOS器件及其制备方法
本发明公开了一种抗辐射的CMOS器件及其制备方法,属于CMOS集成电路技术领域。该CMOS器件包括衬底、源区、漏区以及位于衬底上的垂直沟道,在垂直沟道内增加一介质保护区一,该介质保护区一位于垂直沟道中央,将垂直沟道分为两...
黄如
谭斐
安霞
武唯康
黄良喜
文献传递
一种抗单粒子辐射的多栅器件及其制备方法
本发明公开了一种抗单粒子辐射的多栅器件及其制备方法。本发明的多栅器件包括:衬底;在衬底上且分别位于两端的源区和漏区;在衬底上的源区和漏区之间的凸出的鳍型结构和介质层;在鳍型结构和介质层上的栅介质和栅电极;以及在相邻的两个...
黄如
武唯康
安霞
谭斐
黄良喜
冯慧
张兴
文献传递
回形多叉指场效应晶体管及其制备方法
本发明公开了一种抗总剂量、微剂量辐射的回行多叉指器件及其制备方法。本发明的回行多叉指器件包括:衬底;在衬底上的浅槽隔离区;在衬底上且被STI区包围的有源区;栅为一条盘绕在有源区上的折线或曲线,栅的两端分别过覆盖STI区;...
黄如
武唯康
安霞
刘静静
陈叶华
张曜
张兴
文献传递
抑制辐射引起的背栅泄漏电流的SOI器件及其制备方法
本发明公开了一种抑制辐射引起的背栅泄漏电流的SOI器件及其制备方法。本发明的SOI器件包括:衬底、埋氧层、半导体体区、栅区、源区和漏区、栅侧墙、轻掺杂漏LDD区以及防泄漏区;防泄漏区凹陷在埋氧层内,并且位于半导体体区之下...
黄如
谭斐
安霞
黄良喜
武唯康
张兴
文献传递
一种抗辐射加固的SOI器件及其制备方法
本发明公开了一种抗辐射加固的SOI器件及其制备方法。本发明的SOI器件包括半导体衬底、埋氧层、体区、栅区、源区和漏区、栅侧墙、LDD区及隔离氧化层,其中,在体区的下表面和埋氧层的上表面之间,以及体区在宽度方向上的两个侧壁...
黄如
谭斐
安霞
武唯康
冯慧
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具有较小版图面积的环栅场效应晶体管及其制备方法
一种具有较小版图面积的环栅场效应晶体管,包括:衬底(1);在衬底上的浅槽隔离区STI(5);在衬底上且被STI区包围的源区(2);被源区包围的栅介质(7);覆盖在栅介质上的栅电极材料(4);以及被栅包围在中心的漏区(3)...
黄如
武唯康
安霞
刘静静
陈叶华
张曜
张兴
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一种抗辐射加固的SOI器件及其制备方法
本发明公开了一种抗辐射加固的SOI器件及其制备方法。本发明的SOI器件包括半导体衬底、埋氧层、体区、栅区、源区和漏区、栅侧墙、LDD区及隔离氧化层,其中,在体区的下表面和埋氧层的上表面之间,以及体区在宽度方向上的两个侧壁...
黄如
谭斐
安霞
武唯康
冯慧
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回形多叉指场效应晶体管及其制备方法
本发明公开了一种抗总剂量、微剂量辐射的回行多叉指器件及其制备方法。本发明的回行多叉指器件包括:衬底;在衬底上的浅槽隔离区;在衬底上且被STI区包围的有源区;栅为一条盘绕在有源区上的折线或曲线,栅的两端分别过覆盖STI区;...
黄如
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安霞
刘静静
陈叶华
张曜
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