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李玉鉴

作品数:3 被引量:7H指数:1
供职机构:中国科学院更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇神经网
  • 3篇神经网络
  • 3篇人工神经
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  • 3篇工神经网络
  • 3篇人工神经网
  • 2篇离子刻蚀
  • 2篇刻蚀
  • 2篇反应离子
  • 2篇反应离子刻蚀
  • 1篇知识表示
  • 1篇回忆
  • 1篇记忆
  • 1篇干法刻蚀

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇李玉鉴
  • 2篇魏红振
  • 2篇陆建祖
  • 1篇刘忠立
  • 1篇余金中
  • 1篇林世鸣
  • 1篇张永刚
  • 1篇郭爱克

传媒

  • 1篇模式识别与人...
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇全国化合物半...

年份

  • 2篇2000
  • 1篇1994
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
反应离子刻蚀工艺仿真模型的研究被引量:7
2000年
以SF6 N2 混合气体对Si反应离子刻蚀工艺研究为例提出干法刻蚀计算机工艺模拟的方法 :在分段拟合优化工艺条件下采用人工神经网络方法建立干法刻蚀仿真模型 ,可以予测给定射频功率、总气流量下刻蚀速率和纵横比 ,并且以仿真实验数据训练模型学习 ,模型具有通用性 ,与设备无关。
陆建祖魏红振李玉鉴张永刚林世鸣余金中刘忠立
关键词:人工神经网络反应离子刻蚀
符号序列在人工神经网络中的记忆、表达和回忆
1994年
本文旨在探讨符号序列在人工神经网络中的记忆、表达和回忆的机理。通过利用符号的音频表示、环境反馈网络、符号动力系统和激发序列等理论概念建造具体模型,着重分析了简单动力系统中的激发序列在神经网络系统中的记忆、表达和回忆的过程。本文有助于促进我们去研究层次结构更为复杂的符号序列在神经网络系统中的统一表达形式,也有助于我们去探讨人类记忆的本质。
李玉鉴郭爱克
关键词:神经网络知识表示
反应离子刻蚀工艺仿真模型的研究
以SF<,6>/N<,2>混合气体对Si反应离子刻蚀工艺研究为例提出干法刻蚀计算机工艺模拟的方法:在分段拟合优化工艺条件下采用人工神经网络方法建立干法刻蚀仿真模型,可以予测给定射频功率、总气流量下刻蚀速率和纵横比,并且以...
陆建祖魏红振李玉鉴
关键词:干法刻蚀人工神经网络
文献传递
共1页<1>
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