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李玉鉴
作品数:
3
被引量:7
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中国科学院
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合作作者
陆建祖
中国科学院
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中国科学院
张永刚
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反应离子刻蚀工艺仿真模型的研究
被引量:7
2000年
以SF6 N2 混合气体对Si反应离子刻蚀工艺研究为例提出干法刻蚀计算机工艺模拟的方法 :在分段拟合优化工艺条件下采用人工神经网络方法建立干法刻蚀仿真模型 ,可以予测给定射频功率、总气流量下刻蚀速率和纵横比 ,并且以仿真实验数据训练模型学习 ,模型具有通用性 ,与设备无关。
陆建祖
魏红振
李玉鉴
张永刚
林世鸣
余金中
刘忠立
关键词:
人工神经网络
反应离子刻蚀
符号序列在人工神经网络中的记忆、表达和回忆
1994年
本文旨在探讨符号序列在人工神经网络中的记忆、表达和回忆的机理。通过利用符号的音频表示、环境反馈网络、符号动力系统和激发序列等理论概念建造具体模型,着重分析了简单动力系统中的激发序列在神经网络系统中的记忆、表达和回忆的过程。本文有助于促进我们去研究层次结构更为复杂的符号序列在神经网络系统中的统一表达形式,也有助于我们去探讨人类记忆的本质。
李玉鉴
郭爱克
关键词:
神经网络
知识表示
反应离子刻蚀工艺仿真模型的研究
以SF<,6>/N<,2>混合气体对Si反应离子刻蚀工艺研究为例提出干法刻蚀计算机工艺模拟的方法:在分段拟合优化工艺条件下采用人工神经网络方法建立干法刻蚀仿真模型,可以予测给定射频功率、总气流量下刻蚀速率和纵横比,并且以...
陆建祖
魏红振
李玉鉴
关键词:
干法刻蚀
人工神经网络
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