吴淼
- 作品数：14 被引量：62H指数：5
- 供职机构：天津大学电子信息工程学院更多>>
- 发文基金：天津市自然科学基金国家自然科学基金天津市应用基础与前沿技术研究计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 热红外探测器的最新进展被引量：19
- 2006年
- 对基于热敏电阻的微测辐射热计和基于热释电效应的热释电红外探测器在探测元材料、焦平面阵列(FPA)结构和读出电路(ROIC)3个方面进行了分析对比,讨论了这两种非制冷探测器热电材料的选取原则,FPA单元的热绝缘构造和读出电路的组成方式,并介绍了它们的最新进展和发展方向。
- 吕宇强胡明吴淼张之圣刘志刚
- 关键词：红外探测器微测辐射热计热释电焦平面阵列热绝缘
- 直流对靶溅射制备氧化钒薄膜的研究
- 氧化钒薄膜由于具有高电阻温度系数(TCR)值,其电阻值随入射辐射引起的温升而灵敏地改变,微测辐射热计正是利用这一特性进行测量的,因此氧化钒薄膜在红外探测和红外成像方面具有广泛的应用前景。为了与CMOS读出电路集成,氧化钒...
- 吴淼胡明刘志刚
- 关键词：氧化钒薄膜正交实验电阻温度系数
- 非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜的制备研究
- 氧化钒薄膜由于具有高电阻温度系数(TCR),近年来被广泛应用于非制冷红外探测及红外成像领域.本论文是利用多种物理气相沉积方法制备具有高TCR红外探测器用氧化钒薄膜的研究.研究结果表明,所得到的氧化钒薄膜制备工艺重复性好,...
- 吴淼
- 关键词：氧化钒薄膜电阻温度系数红外探测射频溅射
- MEMS技术在非制冷热红外探测器中的应用被引量：1
- 2007年
- 微机电系统(MEMS)技术是以实现机电一体化为目标的一项新兴技术,它在红外器件制作中的引入为非制冷红外探测器的实用化开辟了新的途径。目前,应用MEMS技术制作的主要有微测辐射热计微桥结构和微悬臂红外探测器双层悬臂结构2种。对它们各自的工作原理、组成结构、MEMS工艺实现以及发展方向作了较为详细的阐述。
- 胡明吕宇强颜海洋吴淼
- 关键词：微机电系统红外探测器微悬臂
- 对向靶反应磁控溅射制备氧化钒薄膜的方法
- 本发明涉及一种对向靶反应磁控溅射制备氧化钒薄膜的方法，属于薄膜制备技术。包括①玻璃和硅基片表面清洗。②若采用硅为基片，先在硅片表面用PECVD方法沉积一层氧化硅薄膜。③采用了具有靶材利用率高、溅射薄膜均匀的对向靶反应磁控...
- 胡明吴淼张之圣刘志刚吕宇强
- 文献传递
- 基片温度对氧化钒薄膜结构与电性能的影响被引量：5
- 2004年
- 以V2O5粉末为原料采用真空蒸发法结合真空退火还原法在玻璃基片上制备VOx薄膜,调节不同的基片温度获得几组薄膜。运用X-射线衍射(XRD)分析和扫描电子显微镜(SEM)分析发现随着基片温度的不同,薄膜成分、物相以及表面形貌有明显差异。在基片温度为200°C时所得薄膜的电阻温度系数(TCR)达到-0.03/°C,并发现基片温度越高,薄膜在室温附近的电阻率越低,电阻温度系数绝对值也越小。
- 吴淼胡明温宇峰
- 关键词：五氧化二钒退火基片温度电阻温度系数
- 非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜制备研究被引量：1
- 2007年
- 主要介绍了红外探测器的分类、发展,及基于氧化钒薄膜的热探测器的优势;采用直流对靶磁控溅射法制备氧化钒薄膜,通过设计正交实验,获得了氧化钒薄膜的最佳制备参数,分析了各个制备参数对氧化钒薄膜成分以及TCR的影响,研究了硅衬底上氧化钒薄膜电阻温度系数与电阻之间的关系.
- 胡明梁继然吴淼吕宇强韩雷刘志刚
- 关键词：氧化钒电阻温度系数红外探测器
- 对向靶反应磁控溅射制备氧化钒薄膜的方法
- 本发明涉及一种对向靶反应磁控溅射制备氧化钒薄膜的方法，属于薄膜制备技术。包括①玻璃和硅基片表面清洗。②若采用硅为基片，先在硅片表面用PECVD方法沉积一层氧化硅薄膜。③采用了具有靶材利用率高、溅射薄膜均匀的对向靶反应磁控...
- 胡明吴淼张之圣刘志刚吕宇强
- 文献传递
- 红外微测辐射热计用纳米氧化钒薄膜的制备和性能研究被引量：2
- 2006年
- 具有优异热敏性能的氧化钒薄膜材料是红外测辐射热计的首选热敏电阻材料,合适的薄膜电阻及高温度电阻系数的氧化钒薄膜的制备是实现高探测率红外测辐射热计的保证．利用新型对靶反应磁控溅射工艺制备了具有纳米颗粒的氧化钒薄膜材料,确定了最佳工艺参数．对其组成、结构和性能进行了分析,原子力显微镜AFM形貌分析表明薄膜具有均匀致密的表面,X射线光电子能谱分析XPS确定了其组成成分主要为V_2O_5、VO_2和少量的V_2O_3．在常用作微测辐射热计结构层材料的氮化硅基底上,该薄膜材料在室温附近具有合适的薄膜电阻(大约为每方14 kΩ)以及高的温度电阻系数(-3．17%/℃),有望适用于非致冷红外测辐射热计探测器．
- 吕宇强胡明吴淼韩雷梁继然刘志刚
- 关键词：测辐射热计
- 铁电随机存储器的研究进展被引量：16
- 2003年
- 铁电薄膜与半导体集成技术相结合而发展起来的铁电存储器,以其高密度、高速度、非易失性及抗辐射性而大大优于目前任何一种半导体存储器。该文介绍了铁电存储器的存储原理、特点、基本存储单元、研究进展、应用及存在的问题,并指出1T结构的铁电随机存储器(FRAM)将会成为下一代随机存储器。
- 吴淼胡明王兴阎实
- 关键词：铁电存储器铁电薄膜
