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王向东

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：清华大学电子工程系更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇电子束曝光
  • 1篇电子束曝光机
  • 1篇套准
  • 1篇曝光机
  • 1篇自动套准
  • 1篇自动套准系统
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇王向东
  • 2篇杜秉初
  • 1篇葛璜

传媒

  • 1篇电子学报
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇1995
  • 1篇1994
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
电子束曝光机自动套准系统的研究被引量：3
1995年
本文描述了用于电子束曝光机的芯片自动套准系统，该系统包括：扫描控制器、图象采集子系统、相关位置计算单元和位置与角度修正子系统。利用该系统，完成一次双标记识别及修正的循环需时１１秒；角度最小修正值为０．０１４度；最终实现的套准精度达到３σ≤０．０７μｍ．
王向东杜秉初葛璜
关键词：电子束曝光机
微细加工中的自动套准技术
1994年
对微细加工工艺中常用的三种套准方法做了详细的分析比较，并着重分析了最近发展起来的利用图像间的相关性实现套准的相关法，它能达到较高的套准精度，并具有一些独到的特点。
王向东杜秉初
关键词：微细加工电子束曝光
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