葛璜
- 作品数:19 被引量:119H指数:6
- 供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域:电子电信机械工程更多>>
- 电子束直接光刻技术在HEMT器件中的应用研究
- 了直接光刻技术的技术要点及其在HEMT器件研制中的应用,采用这种技术与剥离工艺结合可产生0.1 ̄0.3μm微细金属栅电极,研制成功的HEMT器件跨导达380ms/mm,截止频率超过50GHz。
- 葛璜金才政
- 关键词:半导体器件电子束加工光刻技术
- 用于10Gb/sWDM系统色散补偿的波长取样啁啾光纤光栅被引量:10
- 2001年
- 研制出一种新型色散补偿光纤光栅——波长取样啁啾光纤光栅 ,它具有 1 0个周期性为 0 .8nm的波长结构 ,每个周期的反射特性和色散特性都基本相同 ,其带宽为 0 .6nm、峰值反射率为 90 %、色散量为 1 30 0 ps/nm、时延抖动小于 5 0 ps,光栅长度为 1 0 cm。利用此波长取样啁啾光纤光栅 ,在 8× 1 0 Gb/s波分复用 ( WDM)系统中 ,进行了 NRZ码 1 40 km标准单模光纤的色散补偿实验 ,补偿效果良好。
- 李春赟孙成城曹京于小宁刘海涛周凯明安贵仁葛璜
- 关键词:啁啾光纤光栅色散补偿波分复用
- 双波长工作的光纤光栅外腔半导体激光器
- 2000年
- 本文利用多波长光纤布拉格光栅与端面镀有增透膜的半导体激光器管芯耦合形成外腔激光器。研究了不同光纤光栅布拉格波长间隔下,器件的工作性能。当光纤光栅波长间隔不同于管芯的FP腔模式间隔时,不能得到稳定的多波长输出。通过调整光纤栅的各个布拉格波长间隔,使之和半导体激光器FP模式间距相同时,得到了输出稳定的双波长激光。
- 周凯明葛璜等
- 关键词:光纤光栅外腔半导体激光器布拉格波长
- 紫外写入SiO2平面光波导制作新方法研究(三):光波导制作被引量:3
- 2000年
- 本文报导用紫外写入法制备SiO2平面光波导的理论基础,工艺过程和实验结果。介绍了含光敏层的多层SiO2平面光波导的材料和掩膜的制备方法,紫外写入的设备与工艺,用这种新方法制备出性能良好的直波导和Y分叉光波导。
- 葛璜孙明武等
- 关键词:平面光波导光折变效应膜材料掩模
- 光纤光栅作为外反馈的混合腔半导体激光器被引量:2
- 1998年
- 利用一个一端镀有增透膜的F-P腔半导体激光器芯片和一段反射率为50%的光纤光栅组合成一混合腔激光器,腔长约为2cm。在50mA的偏置电流下,主边模抑制比为37.6dB,出纤功率为1mW。
- 周凯明葛璜安贵仁汪孝杰王圩
- 关键词:光纤光栅混合腔外腔半导体激光器
- 高性能紫外写入光纤Bragg光栅的研制被引量:1
- 1997年
- 自从MeliZ等人用全息干涉方法在光纤上制作出第一支Bragg波长位于通信波段的光纤光栅以来,用紫外光从光纤侧面直接在光纤芯区形成轴向Bragg光栅的技术一直受到人们的广泛关柱.近年来,随着世界范围建设“信息高速公路”热潮的兴起,人们逐渐认识到从光纤通信、光纤传感到光计算和光学信息处理的整个光纤领域都将由于光纤光栅的实用化而发生革命性的变化.尤其是在光纤通信方面光纤光栅将影响到从光发送、光放大、光纤色散补偿到光接收的几乎每个方面,是下一代超高速光纤通信系统中不可缺少的重要组成部分.对光纤光栅的研究目前已受到国际光纤领域的普遍重视.由于光纤光栅在制作高性能光纤器件和未来超高速光纤通信系统中的重要应用价值以及在其他领域中的广泛应用前景。
- 陈根祥简水生杨玲葛璜李洵王圩
- 关键词:光纤光栅光纤滤波器光纤BRAGG光栅
- 光纤的光敏特性及光纤光栅紫外写入技术被引量:5
- 1997年
- 本文扼要评述了光纤的光敏特性及其微观机理,描述了光纤光栅光学特征,并对迄今发展起来的几种主要光纤光栅紫外写人技术进行了全面的评介.最后简要介绍了光纤光栅在激光和通信等方面的一些重要应用.
- 陈根祥李洵杨玲简水生葛璜胡雄伟王圩
- 关键词:光纤光栅光敏光纤光纤通信
- 电子束、离子束、光子束纳米微细加工技术的进展被引量:6
- 1996年
- 简要评述电子束、离子束、光子束纳米微细加工技术的进展状况与新方法的探索。
- 葛璜
- 关键词:微细加工技术电子束聚焦离子束光子束集成光学抗蚀剂
- 国家光电子工艺中心的纳米技术研究
- 1996年
- 国家光电子工艺中心的纳米技术研究葛璜,胡雄伟,王圩(国家光电子工艺中心,中国科学院半导体研究所)0引言下一代光电子器件是量子效应光电子器件,这就需要控制良好的纳米加工技术。国家光电子工艺中心(NCOT)以研究下一代量子效应光电子器件为主要目标,开展了...
- 葛璜胡雄伟王圩
- 关键词:电子工艺光电子器件超晶格材料量子线分布反馈激光器分子束外延
- 电子束曝光机自动套准系统的研究被引量:3
- 1995年
- 本文描述了用于电子束曝光机的芯片自动套准系统,该系统包括:扫描控制器、图象采集子系统、相关位置计算单元和位置与角度修正子系统。利用该系统,完成一次双标记识别及修正的循环需时11秒;角度最小修正值为0.014度;最终实现的套准精度达到3σ≤0.07μm.
- 王向东杜秉初葛璜
- 关键词:电子束曝光机