您的位置： 专家智库 > >

汪光川

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇导体
  • 1篇元素半导体
  • 1篇中碳
  • 1篇半导体
  • 1篇硅
  • 1篇碳

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇汪光川
  • 1篇梁骏吾
  • 1篇黄大定
  • 1篇邓礼生
  • 1篇郑红军

年份

  • 1篇1900
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
硅中碳的研究
梁骏吾黄大定邓礼生郑红军汪光川刘凤
阐明了碳在硅中行为，降低碳沾污方法，碳对硅质量的影响，碳与氧的相互作用以及其对硅中沉淀物的影响。解决了制备低含碳量硅单晶的技术问题。内容有：（１）阐明了直拉硅单晶生长时碳沾污的来源是石英坩埚与石墨托间的热化学反应。求得了...
关键词：
关键词：单晶硅元素半导体半导体碳硅
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0