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复旦大学微电子学研究所

作品数：13 被引量：7H指数：2
相关作者：徐晨曦冯向明张东红更多>>
相关机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作机构

领域

  • 3个电子电信

主题

  • 2个VLSI
  • 1个氧注入
  • 1个离子刻蚀
  • 1个离子注入
  • 1个模拟器
  • 1个刻蚀
  • 1个计算机
  • 1个计算机模拟
  • 1个光刻
  • 1个硅片
  • 1个反应离子
  • 1个SIMOX
  • 1个SOI结构
  • 1个氧
  • 1个MAP图
  • 1个成品率

机构

  • 3个复旦大学

资助

  • 2个国家自然科学...

传媒

  • 2个Journa...
  • 1个电子学报
  • 1个应用科学学报
  • 1个固体电子学研...
共 3 条 记 录，以下是 1-3
冯向明
作品数：2被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学微电子学研究所
研究主题：VLSI 反应离子 光刻 计算机模拟 离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐晨曦
作品数：2被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学微电子学研究所
研究主题：氧注入 氧 VLSI SOI结构 SIMOX
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张东红
作品数：1被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学微电子学研究所
研究主题：成品率 MAP图 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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