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北京科华微电子材料有限公司

作品数:69 被引量:48H指数:5
相关作者:郑金红孙嘉穆启道李冰何鉴更多>>
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发文基金:北京市科技计划项目更多>>
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领域

  • 7个电子电信
  • 5个化学工程
  • 2个经济管理
  • 1个理学

主题

  • 7个浸没式
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  • 7个光刻胶
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  • 3个树脂
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机构

  • 9个北京科华微电...
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资助

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传媒

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地区

  • 9个北京市
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郑金红
作品数:17被引量:84H指数:8
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光刻胶 组合物 感光剂 集成电路 电子化学品
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙嘉
作品数:13被引量:5H指数:1
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光刻胶 苯环 保护率 羰基 树脂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
穆启道
作品数:12被引量:50H指数:3
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光刻胶 微电子技术 集成电路 浸没式 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李冰
作品数:10被引量:11H指数:2
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光刻胶 光刻 交联剂 交联反应 基体树脂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何鉴
作品数:2被引量:5H指数:2
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光刻胶 浸没式 光刻材料 浸没式光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘国栋
作品数:2被引量:0H指数:0
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光固化体系 环氧 参数优化 阳离子 光引发体系
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈昕
作品数:2被引量:0H指数:0
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:高档 旋涂 硅材料 光刻胶 浸没式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李冰
作品数:1被引量:3H指数:1
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光刻胶 光刻材料 浸没式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石小亮
作品数:1被引量:0H指数:0
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:抽真空 调压阀 输出端 真空系统 真空泵
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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