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北京科华微电子材料有限公司
作品数:
69
被引量:48
H指数:5
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郑金红
孙嘉
穆启道
李冰
何鉴
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上海彤程电子材料有限公司
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北京科华丰园微电子科技有限公司
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上海彤程电子材料有限公司
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北京科华丰园微电子科技有限公司
北京彤程创展科技有限公司
彤程化学(中国)有限公司
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郑金红
作品数:17
被引量:84
H指数:8
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光刻胶 组合物 感光剂 集成电路 电子化学品
发表作品
相关人物
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孙嘉
作品数:13
被引量:5
H指数:1
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光刻胶 苯环 保护率 羰基 树脂
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穆启道
作品数:12
被引量:50
H指数:3
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光刻胶 微电子技术 集成电路 浸没式 ULSI
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李冰
作品数:10
被引量:11
H指数:2
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光刻胶 光刻 交联剂 交联反应 基体树脂
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何鉴
作品数:2
被引量:5
H指数:2
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光刻胶 浸没式 光刻材料 浸没式光刻
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刘国栋
作品数:2
被引量:0
H指数:0
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光固化体系 环氧 参数优化 阳离子 光引发体系
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陈昕
作品数:2
被引量:0
H指数:0
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:高档 旋涂 硅材料 光刻胶 浸没式
发表作品
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供职机构
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研究领域
李冰
作品数:1
被引量:3
H指数:1
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:光刻胶 光刻材料 浸没式
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石小亮
作品数:1
被引量:0
H指数:0
供职机构:北京科华微电子材料有限公司
研究主题:抽真空 调压阀 输出端 真空系统 真空泵
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