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北京京仪自动化装备技术有限公司
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东莞市中镓半导体科技有限公司
中微半导体设备(上海)有限公司
北京七星华创电子股份有限公司
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东莞市中镓半导体科技有限公司
中微半导体设备(上海)有限公司
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工业和信息化部电子工业标准化研...
中国电子技术标准化研究院
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中微半导体设备(上海)有限公司
研究主题:等离子体 刻蚀 基片 等离子体处理 反应气体
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东莞市中镓半导体科技有限公司
研究主题:衬底 复合衬底 氮化镓 蓝宝石 激光剥离
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北京北方华创微电子装备有限公司
研究主题:半导体工艺设备 半导体 晶圆 半导体设备 晶片
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