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南京理工大学中国-白俄罗斯真空等离子体技术国际科学实验室
作品数:
1
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江晓红
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南京工业大学...
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2016
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N掺杂TiO_2复合膜中N晶格位置转变
2016年
采用磁过滤真空直流阴极弧蒸发工艺在石英基底上沉积N掺杂Ti薄膜,随后将其在马弗炉中以不同的退火温度(100~700℃)热处理制备N掺杂TiO2薄膜,采用X线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)、X线光电子能谱( XPS)和扫描电子显微镜( SEM)分析表征。结果表明:初始态N掺杂Ti薄膜为包含少量TiN相的Ti薄膜,在300℃退火处理时,N掺杂Ti薄膜直接氧化生成N掺杂金红石相TiO2薄膜。初始态的N掺杂Ti薄膜表面平整、颗粒细密,与基底附着牢固,经700℃退火处理后,TiO2颗粒得到了良好的结晶生长,薄膜厚度增加了60%。当热处理温度为600℃时,N掺杂TiO2复合膜中替代型N开始转变为填隙型N,由于填隙型N具有更高的能级,这种N位置的转变进一步窄化了N掺杂TiO2的能带宽度,提高了对可见光的利用率。
刘光辉
江晓红
庄玉召
陆路德
PILIPTSOU D G
ROGACHEV A V
关键词:
N掺杂TIO2
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