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国家自然科学基金(60706010)
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1
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刘理天
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 硅 压力传感器 微机械
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方华军
供职机构:衡阳华菱钢管有限公司
研究主题:模拟集成电路设计 低功耗 MOS器件 压电驱动 MEMS
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