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国家科技重大专项(2009ZX02207)
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陈兴林
魏凯
刘川
姜晓明
王岩
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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陈兴林
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:光刻机 工件台 神经网络 物理仿真 微分对策
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魏凯
供职机构:哈尔滨工业大学航天学院
研究主题:光刻机 工件台 VXWORKS 同步控制 运动控制卡
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刘川
供职机构:哈尔滨工业大学航天学院
研究主题:工件台 光刻机 直线电机 高动态 自抗扰
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姜晓明
供职机构:哈尔滨工业大学航天学院
研究主题:迭代学习控制 因果 光刻系统 Μ综合 Μ分析
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王岩
供职机构:聊城大学
研究主题:光通信 卫星光通信 有机氯农药 现场总线 耕地土壤
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张常江
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:光刻机 工件台 运动控制卡 双口RAM 系统初始化
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武志鹏
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:光刻机 工件台 同步控制 S曲线 主从控制
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范文超
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:光刻机 伺服机构 垂向 线性电机 物理仿真
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刘杨
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:超精密 光刻机 工件台 物理仿真 气浮
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刘洋
供职机构:哈尔滨工业大学航天学院
研究主题:光刻机 工件台 系统设计 DSP CMOS图像传感器
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