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广东省自然科学基金(B06-6050600)
作品数:
1
被引量:15
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相关作者:
黄光周
申灿
刘雄英
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华南理工大学
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黄光周
供职机构:华南理工大学电子与信息学院
研究主题:光学薄膜 原子层沉积 电感耦合 SNO 光谱
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刘雄英
供职机构:华南理工大学
研究主题:天线 芯片 圆极化天线 植入式 地板
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所获资助
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申灿
供职机构:华南理工大学电子与信息学院
研究主题:原子层沉积 计算机仿真 SI 生长速率 半导体
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