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上海市科学技术发展基金(11DZ2290203)

作品数：1 被引量：2H指数：1
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王艳
供职机构：上海交通大学医学院
研究主题：磁力研磨 化学品 偿付能力 金刚石砂轮 MEMS
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汪红
供职机构：上海交通大学
研究主题：TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程萍
供职机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题：硅 传感器 高温 温度传感器 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁桂甫
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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