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国家自然科学基金(085JA16501)

作品数：1 被引量：2H指数：1
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地区

  • 4个安徽省
  • 1个浙江省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
左潇
供职机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所
研究主题：高功率脉冲 涂层 磁控溅射技术 磁控溅射法 磁控
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孟月东
供职机构：中国科学院等离子体物理研究所
研究主题：等离子体 低温等离子体 热等离子体 磁控溅射 表面改性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏钰
供职机构：中国科学院等离子体物理研究所
研究主题：多晶硅薄膜 化学气相沉积 增强型 微观结构 氢气
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
舒兴胜
供职机构：中国科学院等离子体物理研究所
研究主题：MWPCVD 金刚石膜 表面改性 工作气体 微波等离子体化学气相沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈龙威
供职机构：中国科学院等离子体物理研究所
研究主题：等离子体 等离子体射流 半导体薄膜 氢等离子体 多晶硅薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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