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国家科技重大专项(022011ZX02702)

作品数：2 被引量：1H指数：1
相关作者：汪红丁桂甫张振杰李君翊王慧颖更多>>
相关机构：上海新阳半导体材料股份有限公司上海交通大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程更多>>

领域

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  • 7个电子电信
  • 6个一般工业技术
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  • 5个机械工程
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  • 3个环境科学与工...
  • 3个农业科学
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  • 2个交通运输工程
  • 2个政治法律
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主题

  • 10个通孔
  • 10个TSV
  • 10个硅
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  • 8个铜
  • 7个力学性能
  • 7个互连
  • 6个电化学
  • 6个微拉伸
  • 5个低应力
  • 4个电沉积
  • 4个电镀
  • 4个电镀方法
  • 4个电极
  • 4个电极对
  • 3个单轴
  • 3个弹簧
  • 3个导电装置
  • 3个导轨
  • 3个等位

机构

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  • 1个对外经济贸易...
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  • 1个华东师范大学
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  • 1个浙江大学
  • 1个中国人民大学
  • 1个中南大学
  • 1个交通大学

资助

  • 10个国家科技重大...
  • 8个国家自然科学...
  • 5个上海市科学技...
  • 4个国家高技术研...
  • 4个教育部科学技...
  • 4个长江学者和创...
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传媒

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  • 2个电镀与环保
  • 2个光子学报
  • 2个中华肾脏病杂...

地区

  • 10个上海市
共 10 条 记 录，以下是 1-10
汪红
供职机构：上海交通大学
研究主题：TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁桂甫
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
岳恒
供职机构：上海交通大学
研究主题：铜 合金化处理 合金薄膜 微加工 图形化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵小林
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李君翊
供职机构：上海交通大学
研究主题：TSV 微拉伸 材料力学性能 封装设计 仿真模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王昭瑜
供职机构：上海交通大学
研究主题：材料力学性能 封装设计 金属铜 力学性能 微柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程萍
供职机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题：硅 传感器 高温 温度传感器 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王艳
供职机构：上海交通大学医学院
研究主题：磁力研磨 化学品 偿付能力 金刚石砂轮 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张振杰
供职机构：上海交通大学
研究主题：复合材料 微加工 MEMS ANSYS 基体复合材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王慧颖
供职机构：上海交通大学
研究主题：TSV 材料力学性能 铜互连 封装设计 干膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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