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国家自然科学基金(61006073)

作品数：3 被引量：3H指数：1
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领域

  • 6个机械工程
  • 6个电子电信
  • 4个电气工程
  • 4个自动化与计算...
  • 4个理学
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主题

  • 6个亚微米
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  • 3个低通滤波
  • 3个低通滤波器
  • 3个电学

机构

  • 6个中国科学院
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资助

  • 6个国家高技术研...
  • 6个国家自然科学...
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  • 1个中国科学院仪...

传媒

  • 6个微纳电子技术
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  • 2个Journa...
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地区

  • 6个北京市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
韩国威
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：锚点 电极 MEMS 压电层 掩膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宁瑾
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：电极 牺牲层 锚点 MEMS 4H-SIC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵永梅
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：碳化硅 3C-SIC 衬底 刻蚀 碳化硅材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
康中波
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：亚微米 RFMEMS RF_MEMS 滤波器 碳化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟卫威
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：亚微米 RFMEMS RF_MEMS 滤波器 碳化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
司朝伟
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：锚点 电极 压电层 MEMS 谐振器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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