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国家自然科学基金(50775055)
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董申
王波
张巨帆
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哈尔滨工业大学
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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张巨帆
供职机构:哈尔滨工业大学深圳研究生院
研究主题:电容耦合 常压等离子体 等离子体炬 超光滑表面 大气等离子体
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董申
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:原子力显微镜 AFM 超精密加工 超精密机床 超精密
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王波
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:大气等离子体 等离子体加工 超精密加工 等离子体炬 光学零件
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王东方
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:测量方法 光学元件 镜框 超精密 长度计
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