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国家自然科学基金(61072022)

作品数：4 被引量：34H指数：2
相关作者：王军波陈德勇焦海龙曹明威张健更多>>
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王军波
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电化学 地震检波器 谐振式 电极 谐振式压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈德勇
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电化学 谐振梁 谐振式压力传感器 地震检波器 谐振式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦海龙
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：谐振式压力传感器 阳极键合 绝缘体上硅 微电子机械系统 差分检测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张健
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：谐振式压力传感器 MEMS压力传感器 真空封装 阳极键合 绝缘体上硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹明威
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：阳极键合 谐振式压力传感器 谐振式 MEMS压力传感器 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张正宇
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电化学 地震检波器 层数 复合电极 间隔层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何文涛
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电化学 地震检波器 MEMS 电极 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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