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国家自然科学基金(60825405)
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2
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相关作者:
李恒一
罗先刚
王长涛
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发文基金:
国家自然科学基金
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罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
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王长涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
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李恒一
供职机构:中国科学院研究生院
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