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国家自然科学基金(60301006)
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于映
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吴清鑫
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于映
供职机构:南京邮电大学
研究主题:氮化硅薄膜 共面波导 射频MEMS开关 天线 液晶
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罗仲梓
供职机构:厦门大学
研究主题:射频MEMS开关 PECVD 键合 芯片 微通道
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吴清鑫
供职机构:苏州市职业大学电子信息工程系
研究主题:射频MEMS开关 氮化硅薄膜 PECVD 氮化硅 力学性能
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张春权
供职机构:厦门大学
研究主题:键合 聚二甲基硅氧烷 微电子机械系统 PECVD PDMS
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彭慧耀
供职机构:福州大学物理与信息工程学院
研究主题:保护层 光刻 聚酰亚胺 牺牲层 树脂
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陈光红
供职机构:苏州市职业大学电子信息工程学院
研究主题:教学探讨 射频MEMS开关 氮化硅 《信号与系统》 PECVD
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王培森
供职机构:福州大学物理与信息工程学院
研究主题:MEMS开关 硅 RF-MEMS 保护层 光刻
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张彤
供职机构:东南大学
研究主题:等离激元 等离子体激元 光学陀螺 波导 集成光学
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翁心桥
供职机构:福州大学电子科学与应用物理系
研究主题:MEMS开关 PECVD 共平面波导 刻蚀工艺 射频开关
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